台積晶圓廠復原率逾八成 18廠已修復、龍潭廠復工

各界關注403大地震對半導體晶圓廠影響，在台積電（2330）、世界先進等晶圓廠製造工程師與設備商人員不眠不休修復下，台積電昨（4）日公告，晶圓廠設備的復原率超過八成，新建的晶圓18廠昨日晚間完全復原。台積電ADR 4日早盤上漲約1.7%。

台積電3日晚間表示，403大地震發生後僅10小時內，晶圓廠設備的復原率超過70%，4日晚間再度公告，表示整體晶圓廠設備復原率超過80%，晶圓18廠預估當晚就會完全復原。此外，建廠工地狀況檢查初步正常，因安全考量，3日台灣各地工地停工，確認安全後已於昨日恢復施工。這代表主導先進封裝的龍潭廠工地已復工。

業界指出，403大地震台積電各廠區急召輪班人員與調度人力、加上協力廠商人手，各大廠區外車水馬龍，連深夜停車場都大塞車，各廠輪班工程師緊急加入復原工作，讓不少設備重啟試機，4日就接近全數復原。

備受關注的台積電先進封裝重鎮龍潭廠此次傳出受地震疏散影響，生產製程設備因網路訊號不穩或斷線需重新設定參數。據了解，亞東工業氣體、志聖等協力廠配合客戶要求出動工程師現場協助復原，是晶圓廠復原率能大幅提升的關鍵。

台積電連續兩日公告最新進度，4日公告，晶圓廠設備復原率已超過80%，新建的晶圓廠（如晶圓18廠）預計晚間皆可完全復原。部分廠區少數設備受損並影響部分產線生產，主要機台包含所有極紫外光（EUV）曝光機皆無受損，處於震幅較大地區的部分生產線，預計需要較長的時間調整校正以回復自動化生產。

設備廠指出，因第二天餘震較少，復原工作加速進行。國科會指出，三大科學園區陸續復機校準中，竹科園區雖受地震影響最大，但未停水停電，這兩天應該機台校準完畢。