ASML限縮出貨 陸企早有準備 囤積DUV機台

全球半導體顯影設備龍頭艾司摩爾（ASML）應拜登政府要求，提前取消部分用於半導體成熟製程的深紫外光（DUV）設備出貨大陸，市場原本期盼，陸企無法取得關鍵機台後，能舒緩成熟製程供過於求壓力，惟業界分析，陸企早已大舉囤積DUV機台，美國新政恐難扭轉成熟製程產能過剩問題。

這意味聯電、世界先進、力積電等以成熟製程為主力的台灣晶圓代工業者，邁入2024年仍難甩開與陸企競爭壓力，隨著供過於求問題延續，後續報價恐同步承壓。

大陸科技媒體《芯智訊》報導， 根據大陸海關數據顯示，2023年10月，大陸從荷蘭進口的艾司摩爾設備數量達21台，總價值6.725億美元（約新台幣207億元）。2023年11月，大陸進口42台半導體顯影設備，總價值為8.168億美元（約新台幣252億元），其中有16台來自荷蘭，總價值7.627億美元（約新台幣234億元），年增10.5倍。

艾司摩爾在2023年第4季出貨的設備，多數是在2022年底或2023年初就已取得許可。艾司摩爾在2023年中的交貨周期約18個月，代表2023年第4季出貨的設備，客戶應該是在2022年第2季或第3季就已下訂單。

數據並顯示，2023年第3季大陸半導體製造設備進口額為人民幣634億元（近新台幣2,800億元），較前年同期暴增93％。就產品類別來看，顯影設備進口額暴漲近四倍。其中，來自荷蘭的進口額暴增逾六倍，顯然是艾司摩爾的產品。

業界分析，大陸顯影設備進口量和進口額激增，可能是艾司摩爾趕在許可證失效前，匆忙出貨的結果。從艾司摩爾2023年第3季財報來看，當季大陸市場銷售額占比增至46%，遠高於2023年前兩季的數據（分別為24%和8%）。

研調機構集邦科技（TrendForce）昨天直言，艾司摩爾兩款DUV機台提前取消銷陸，不影響該機構對全球與大陸晶圓代工市場後市看法。

集邦提到，各國補貼政策驅動下，大陸、美國積極拉高當地晶圓代工產能占比，預期至2027年台灣、南韓兩地產能占比將分別收斂至41%及10%。成熟製程（28奈米及更成熟的製程）方面，該機構先前分析提到，以大陸擴張產能最積極，在美國、日本及荷蘭三方對先進設備的出口管制影響下，大陸轉而擴大投入成熟製程。

【記者尹慧中／台北報導】美方拉攏盟友強化出口管制措施，避免相關技術用於軍工領域。惟業界觀察，美方態度愈強硬，將使得大陸自主研發突圍的企圖心更強，深紫外光（DUV）顯影設備技術相對門檻較低，預期陸企在DUV領域已有突破或替代方案。

加上不少陸資廠商還積極囤貨成熟製程設備，大陸雖在先進製程布局受阻，但官方祭出高額補助，成熟製程市占料仍將穩步提升。