半導體「天車」國產化 廣運、均豪、盟立等搶進

日商長期壟斷半導體晶圓廠運送晶圓的「OHT空中走行式無人搬運車（俗稱「天車」）」專利即將到期，未來相關市場將不再受專利束縛，引爆新世代半導體關鍵耗材國產化商機大開，廣運（6125）、均豪、盟立等本土相關自動化設備廠摩拳擦掌搶進，陸續送樣台積電等一線指標廠中。

廣運集團執行長謝明凱透露，廣運集團今年成立半導體事業群，並宣示今年為集團「半導體元年」，並已完成一系列半導體自動化方案，提供包括空中走行無人搬運、晶圓移載前開式晶圓傳送盒、前開式出貨盒及封測廠移載彈匣等整體解決方案實力，預計今年底前出貨。

均豪三年前推出半導體自動化搬運系統，是以OHT空中走行式無人搬運車為主，搭配機械手臂與晶圓儲存 Stocker，配合客戶製程搬運，已獲封測大廠採用，並切入晶圓大廠供應鏈。

盟立研發的OHT系統已出貨五年，客戶涵蓋面板、封測等大廠，包括大陸面板大廠華星光電後段模組廠（LCM）、日月光、青島新核芯、國顯光電、力成、美光及安可等，累計交貨已達10公里軌道的實績。

據了解，「天車」原始專利屬於美商，後被日本神鋼公司收購並繼承專利。2009年8月日本村田機械無塵室自動化（Clean FA）事業部門與神鋼合併，成立村田自動化科技。2012年4月再併入村田機械，並成為天車專利擁有者。

村田曾獨霸台積電天車供應商寶座，其後另一家日商大福加入搶市，一度引發專利侵權戰，雙方最後和解收場，並列護國神山天車供應鏈。

盟立董事長暨總裁孫弘表示，近年布局半導體及智能工廠業務進入開花結果期，今年上半年在半導體相關貢獻業績占比約45%，已超過占三成的新物流解方案，以及占二成的光電產業。展望下半年，第4季可望敲定洽談已久的大單。

孫弘表示，盟立AMHS自動物料搬送系統解決方案累計五年實績，是台廠唯一協助半導體封測廠建廠規劃與自動化系統整合運用實績者。

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