南方科技開發全球首創非破壞性缺陷檢測系統 助攻碳化矽基板廠提升良率

半導體測試解決方案專業品牌蔚華科（3055）朝自主開發檢測設備邁大步，旗下南方科技今日發表全球首創非破壞性缺陷檢測系統， 助攻碳化矽（SiC）基板廠提升良率，降低成本，由於相較高成本的破壞性 KOH（氫氧化鉀）蝕刻檢測方式，可提升產量並有助於改善製程，已吸引國內各大碳化矽基板廠高度興趣並合作，公司預估年底可正式出貨，明年放量，成為各大碳化矽基板廠重要合作夥伴。

南方科技是蔚華科轉投資公司，從事檢測設備研發多年，目前資本額6000萬元，蔚華科在4年入主，並逐步增加持股，目前持股達51%。近3年公司將核心數位光學檢測技術聚焦各國競相投入的第三類化合物半導體的SiC基板檢測設備開發，成功開發全球首創非破壞性缺陷檢測系統，命名JadeSiC-NK。

南方科技總經理王嘉業表示，目前市場上的光學技術只能檢測表面非晶體缺陷，JadeSiC-NK系統採用先進的非線性光學技術，可對全片基板表面到特定深度進行掃描，反應晶體結構資訊，提供晶體缺陷密度及其分布狀況，讓客戶有效掌握基板品質，未來生產出的元件品質與效能也能更加穩定。

王嘉業說，JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統專注在穩定且有效地找出基板中的四大致命性晶體缺陷，比現行將SiC晶錠切片後取上下二片基板進行檢測的KOH蝕刻方式，可大幅節省檢測時間與基板成本。

他舉傳統破壞性檢測為例，以每個長晶爐每月產出四個晶錠為例，採用JadeSiC-NK後，每個晶錠可省下二片基板成本（每片6吋基板800美元計），因此可推估一個長晶爐每年可省下新台幣250萬元，若是具有100個長晶爐的基板廠，一年即可省下2.5億元。

王嘉業並強調，JadeSiC-NK也可針對同一個晶錠進行100%的晶圓檢查，進行詳細的晶錠分析和批次追蹤分析，協助客戶在高技術門檻的化合物半導體市場加速製程及產量優化。

前鴻海半導體研究所所長，現任陽明交大光電工程學系教授郭浩中表示，蔚華與南方科技推出的JadeSiC-NK系統，將非線性光學技術應用在化合物半導體的檢測分析，有助突破目前業界在量產及製程改善的技術瓶頸，對於產業鏈發展提供極大推力，期盼此系統能以更有效更穩定的檢測方法，建立業界SiC基板檢測標準，成為產業界非線性光學技術的領航品牌，引領市場應用持續創新及突破。

郭浩中表示，現今環境永續意識抬頭，許多國家已制定電動車的階段性政策目標，耐高溫高壓SiC功率半導體元件是很重要的元件，卻因不易掌控長晶晶體缺陷，良率無法提升，供給量遠遠不及需求。如果基板廠與元件廠若能在製程中對材料做全面非破壞性檢測，不僅可減少原本KOH蝕刻的有害化學溶液使用量，更能及早發現問題，進而有效改善製程、提升良率，進而在化合物半導體市場中展現絕佳優勢，南方科技開全球首創非破壞性缺陷檢測系統，將對全球碳化矽生態系及電動車產業，帶來重大貢獻。