中鋁超高真空艙體鋁合金 躋身高階半導體設備供應鏈

中鋼（2002）子公司中鋁成功開發「超高真空艙體用6061系鋁合金」材料，切入高階半導體設備產業鏈，目前在國內外都有成功應用實績，未來前景看俏。

中鋼為一貫化作業鋼廠，為國內各項基礎建設、產業發展及各項民生產品供應及開發所需的鋼鐵材料，歷經多角化及國際化發展後，已成為擁有鋼鐵、工程、工業材料、物流投資、綠能事業等5個事業板塊的集團事業體，也從原本的鋼鐵材料製造者轉變成為多元材料的供應者。

台灣半導體產業在全球居於領先地位，半導體製程作業多需要在真空艙體(Vacuum Chamber)內完成，另真空艙體本身需具備質量輕、導熱性佳與易加工等特性的材料來加工製作，使得鋁合金成為材料首選。

中鋼表示，國內真空艙體用的鋁板長期仰賴美國及日本的鋁廠供應，新冠疫情後受到全球供應鏈重組影響，中鋼攜手中鋁積極投入技術及產品研發，近期成功開發出「超高真空艙體用6061系鋁合金」產品，不但品質媲美由最新式水平式淬火爐製程生產出的鋁合金，也可避免鋁板加快冷卻速率產生殘留應力導致平坦度不佳問題，同時免除購置新式水平淬火設備與土木興建等建置成本。

中鋼攜手中鋁開發的「超高真空艙體用6061系鋁合金」，除了生產技術已取得多項專利外，產品也獲得多家國內半導體設備商認證，目前中鋁積極向下游業者推廣使用。

展望未來，中鋼將持續秉持「產業升級，材料先行」的理念，積極與國內下游產業合作，配合國家產業發展進行各項關鍵材料之開發及供應，也將與中鋁持續投入更高強度鋁合金的研發應用，發揮高品級鋁合金更大的價值，實現「中鋼與客戶價值共創」願景。