影／科技廠有毒氟氣外洩 廠辦員工放半天假直呼太恐怖

台南市新市區一家半導體設備廠極光先進雷射今早發生毒氣外洩，疑似雷射切割時使用的氟氣洩漏，氣體偵測器發現後示警，廠方人員立刻中止設備緊急疏散人員，消防人員及南區毒災應變隊趕赴現場，該大樓廠辦共疏散363人，在封閉後已進行排氣，目前並無外洩危險，但為保險起見，該幢大樓及鄰近大樓公司員工已宣布提前下班，不少員工賺到半天休假，但直呼讓人「怕怕」。

據了解，日商極光先進雷射產品為Excimer雷射，提供作為半導體曝光裝置用，雷射使用的過程中需要用到氟氣，該公司在位於新市區的國際南科廠辦科技園區內的廠辦大樓內有多處據點，今天上午11時許，氣體偵測器發出警報，廠方人員發現氟氣有外洩情形，濃度提高到2.5ppm，立刻停止設備運作，並同步通報大樓管理及警消，疏散大樓內所有公司員工。

南科分隊及南區毒災應變隊到場後，換穿防護服入內確認閥體、鋼瓶有無洩漏，南區毒災應變諮詢中心主任陳政政說，初步發現是廠內氟氣鋼瓶接頭有氟氣少量洩漏，偵測器發報後，廠方人員即關閉設備，後續確認後進行排氣處置，目前確認並無外洩危險，環南市保局指出，環保局人員、廠商、技術小組確定氟氣值為0，並由氣體商將鋼瓶移除。

由於該廠位於廠辦大樓中，還有其他公司員工，在得知有氣體外洩事件後，其他廠商都陸續通知員工下午停班，等確定安全無虞明日再上班，連隔壁棟大樓的公司都提前下班，某日商員工表示，雖然賺到半天假，但因半導體業用到的氣體都是氯、氟等有毒的腐蝕性氣體，公司一聽到外洩，就算在隔壁棟，還是要他們快下班，像這類要用到有毒氣體的公司，還是要有獨立廠區才安全。

更遠的塗料工廠員工看到大樓中午撤出大量人員，還以為是發生火警，後來得知是毒氣外洩，都嚇了一跳，直問會不會飄過來，也說都沒收到通知，「萬一中毒怎麼辦」。

南市環保局指出，該公司合法申請列管，目前氯氣外洩部分並未造成人員傷亡及損失，不會開罰，但呼籲廠家應定時檢修相關設備，避免意外事故發生。