全球首創！俄烏戰爭致氖氣價格飆漲 三星擬用回收氖氣製造晶片

俄烏戰爭導致氖氣價格飆漲，為此三星電子計劃明年起在晶片生產過程中使用回收氖氣，為全球首創；此舉可削減氖氣這種稀有原料的取得成本並穩定供應，以及降低三星的碳足跡。

南韓經濟日報報導，產業消息人士說，三星電子已在不損害晶片品質的情況下，成功於大規模晶片生產中採用回收氖氣。受到這項成果的鼓舞，三星計劃明年起把回收氖氣用於晶片製造，為舉世首創，預計可滿足75%微影製程中的氖氣需求。

氖氣是惰性氣體，廣泛應用於半導體產業和面板業，是微影製程中的必要原物料，用於產生把電路圖轉移到基板的雷射光。

三星以往只仰賴進口氖氣，主要供應來源為烏克蘭、俄國與中國大陸。但自從2022年俄烏戰爭爆發後，氖氣價格因供應短缺飆漲，在2021~2022年從每公升58美元狂飆到1,612美元。受價格震撼衝擊，三星尋求其他供應來源，包括從雷射產生的廢料回收氖氣。

三星計劃利用回收氖氣，以降低記憶晶片和晶圓的生產成本。該公司已聯手南韓本地的原物料業者，研發可立即投入晶片生產的高品質回收氖氣，在三星完成氣體回收後，再交由合作夥伴純化。

此舉有望大幅降低三星的氖氣進口需求，該公司每年進口數十萬公升的氖氣。由於氖氣相當稀有，這項回收過程可望穩定供應，為重度倚賴氖氣進口的南韓晶片產業帶來利多。