陸企晶片製造擴產 50%須用國貨

路透引述知情人士報導，中國大陸要求晶片製造商在增加新產能時，至少要使用50%的國產設備，以推動打造自給自足半導體供應鏈的目標。

消息人士透露，最近幾個月，尋求國家批准新建或擴建工廠的晶片製造商，已接獲當局通知須通過採購招標，證明至少有一半的設備是中國製造。若未達門檻，申請通常就會遭駁回，有關當局會視供應限制情形，酌情放寬要求，對高階製程晶片產線的規定也有鬆綁，因為國內業者開發的設備尚未完全投入這類產線。

根據公開採購數據顯示，今年大陸國營事業或相關實體訂購國產曝光機及零件的訂單達到創紀錄的421筆，總額約人民幣8.5億元，北京當局也透過「大基金」為半導體產業挹注人民幣數千億元，支持本土供應鏈。消息人士指出，這項政策已有所斬獲，例如在蝕刻等領域。

蝕刻是把矽晶圓表面多餘的材料溶解或剝離，形成電路圖案的過程，是晶片製造的關鍵步驟，先進的蝕刻設備先前主要是由科林研發、東京威力科創等外國廠商供應，但消息人士指出，當局要求晶圓廠用至少50%的國產設備，加速北方華創蝕刻技術的進展，部分市場被北方華創和中微（AMEC）取代。

北方華創已成為大陸記憶體製造商的重要合作夥伴，會提供用於製造超過300層記憶體的蝕刻設備。該公司還開發了固定晶圓的靜電吸盤，取代科林研發因2023年美方限制措施而無法繼續維修的磨損零件。

分析師估計，在光阻去除和清洗設備領域，以前是由日本公司主導，大陸目前約有一半都能自給自足，北方華創也取得領導地位。