中微董事長：大陸半導體設備未來5到10年內 達國際先進水準

大陸半導體設備製造商中微半導體董事長尹志堯表示，儘管大陸在半導體設備領域與國際先進水準存在差距，但在未來5到10年內，大陸完全有可能達到國際先進水準。目前，境內設備公司正在快速追趕，自主可控的半導體設備已能覆蓋積體電路生產線的15%到30%。

尹志堯還介紹，中微公司主要零部件的自主可控率已達到90%以上，到今年第3季度末可以達到100%。

央廣網報導，尹志堯是在「滬市匯·硬科硬客」第十期「半導體設備突圍關鍵局」中指出，中微公司的等離子刻蝕機已能全面取代國際先進設備，化學薄膜設備的覆蓋度也在不斷提高。特別是在導體薄膜及EPI外延設備取得極快的進展。

尹志堯透露，中微公司近期決定將儘快開發出電子束檢測設備，這是境內除了曝光機以外最大的短板。

尹志堯特別強調產業鏈協同極其重要，「理想狀態下，全球積體電路產業應該是互相協同的。它牽扯了幾千個步驟，上下游鏈非常強，很少能有一個國家或企業能從上到下全部打通。」

據國際半導體產業協會（SEMI）、日本半導體製造裝置協會（SEAJ）統計數據，2023年全球晶片設備（新品）銷售額為1,062.5億美元，與上年相比萎縮1.3%。大陸市場銷售額年增29%至366億美元，連續第四年成為全球最大晶片設備市場。

尹志堯指出，在國內外競爭越來越激烈的情況下，大陸沒有別的選擇，一定要有自主可控、自立自強的精神，使大陸國產設備儘快達到國際先進水準，甚至在部分領域超過國際先進水準。

談及保障供應鏈安全的具體措施，尹志堯表示，供應鏈其實是最核心的東西。「我們只是設計設備，裡面成千上萬的零部件，幾乎沒有一個是自己做的。我們600多個供應廠商遍布全世界，如果搞不定他們，只要有一個供應廠商不跟你玩了，那當時就死掉了。」

尹志堯表示，中微做了大量努力和供應鏈廠商緊密溝通，去確認他們能給我們按時且保質保量地供貨。今年夏天左右，中微基本上可以做到自主可控。而目前中微主要零部件的自主可控率已達到90%以上，到今年第3季末可以達到100%。