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國產曝光機被譽打破「晶片荒」 陸媒批:驢吹成馬

2018-12-03 21:53聯合報 記者林宸誼╱即時報導

中美貿易戰爆發以來,晶片生產技術一直為各界焦點,中國科學院研製的「超分辨曝光裝備」日前通過驗收,曝光分辨力達到22奈米,不少陸媒以「國產光刻機偉大突破,國產晶片白菜化在即」和「厲害了我的國,新式光刻機將打破『晶片荒』」之類為題,慶祝中國大陸不再受制於人。

然而「科技日報」卻刊文批評,有些傳播者為吸引眼球、賺錢,最愛製造「自嗨文」和「嚇尿體」,聽到國產科技成就先往大裡吹,驢吹成馬,馬吹成駱駝,好賣個駱駝價。

報導指出,就晶片製作而言,光刻機(曝光機)作用在於「印刷」電路,就像照相,圖像投在感光底片上,蝕掉一部份,自曝光技術面世半個多世紀以來,為了節省能源和所需矽料,晶片愈做愈小,致使投影刻劃難度愈來愈高,因而催生頂尖曝光機利用波長13.5奈米的極紫外光源,以刻劃10奈米以下的線條。

報導認為,要製造穩定而大功率的「極紫外光」(EUV),每個光源需耗資人民幣3000萬元,至於頂尖「極紫外光」(EUV),更有一部賣一億美金之譽,相關技術目前由荷蘭ASML公司獨家壟斷。

有見及此,中科院研製曝光機,利用「表面等離子體」曝光法,在通行奈米光學技術外另闢蹊徑,「用便宜光源實現較高的分辨率」。

報導引述科學家楊勇解說原理:「拿一塊金屬片和非金屬片親密接觸,界面上有一些亂蹦的電子;光投影在金屬上,這些電子就有序地震盪,產生波長幾十奈米的電磁波,可用來曝光。」

不過這種這種電磁波很弱,需要「曝光膠」材料得湊近了,才能刻出來,且加工精度及不上市面「極紫外曝光機」,無法刻出幾十奈米級的晶片。

報導最後結論,中科院的22奈米解析度曝光機,跟ASML壟斷的曝光機不是一回事,說前者彎道超車,就好像說大陸出了個競走名將,要超越牙買加短跑運動員博爾特。

國產曝光機被譽打破「晶片荒」,卻遭打臉是「驢吹成馬」。(中新社)
國產曝光機被譽打破「晶片荒」,卻遭打臉是「驢吹成馬」。(中新社)
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