台積電攜 ASML 攻12吋光罩！家登、光罩跳空漲停 High NA 新商機浮現

台積電（2330）攜手ASML推進12吋High NA EUV光罩，光罩族群9日成盤面焦點，除了台積電開高持穩之外，家登（3680）、光罩（2338）更雙雙跳空漲停，分別鎖死在573元、41.5元；在先進製程持續擴產下，相關耗材供應鏈訂單能見度也同步拉長至2028年。

台積電與艾司摩爾（ASML）宣布共同推動High NA EUV光罩由現行6吋升級至12吋，台積電規劃自2030年起在先進製程量產導入High NA EUV，雙方並計畫在2031年前建立12吋光罩試產線，2033年前讓相關微影系統全面就緒。ASML指出，放大光罩尺寸可突破現行High NA EUV應用限制，並有望提升設備生產力。

隨AI晶片架構日益複雜，台積電預期未來需要使用High NA EUV曝光的光罩層數將增加，從曝光設備、光罩到載具及相關耗材，都將迎來下一階段規格升級需求。

其中，家登是EUV光罩載具重要供應商，旗下High-NA EUV POD已通過ASML認證，並已送樣關鍵客戶；隨High NA製程逐步推進，家登可望受惠EUV光罩載具需求成長。

家登前7月營收達50.5億元、年增29%，創同期新高，其中光罩載具營收占58%；董事長邱銘乾看好台灣半導體廠持續投資，先進製程與先進封裝將同步挹注後市動能。

光罩則持續提高高階產品比重，布局90奈米以下至65奈米及28奈米製程，並規劃2026年底完成相關客戶認證，搶進高階光罩與大尺寸光罩供應鏈。

除了12吋光罩帶來的長線想像，先進製程擴產也已反映在供應鏈訂單能見度。業界指出，隨先進製程推進能見度延伸至2030年後，崇越（5434）、家登、華立（3010）、京鼎（3413）等關鍵耗材供應商訂單能見度，已由3個月前看到的2027年底，進一步拉長至2028年底。

其中，與機台進場時程高度連動的氣體、化學品及機台周邊「二次配」工程服務，能見度甚至已看到2030年，顯示台積電先進製程擴產不僅帶動晶圓廠設備投資，也同步推升耗材及廠務供應鏈需求。

在台積電、ASML啟動12吋High NA EUV光罩升級之際，家登、光罩今日率先反映市場期待，後續隨先進製程與AI晶片需求持續擴大，光罩及相關耗材供應鏈的長線商機也受到市場關注。