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好書導讀/兆晟鷹眼級檢測 半導體缺陷無所遁形

2018-09-26 05:44經濟日報 尹慧中

新竹科學園區篤行路,曾是關東橋新兵訓練中心,多年前納入科學園區後,成為IC設計廠聚集的大本營,而在篤行路一棟看似普通的大樓之中,卻別有洞天,隱藏著讓半導體製程檢測技術突破的關鍵武器。

這家名為「兆晟奈米科技」的新創公司,成立於2017年,團隊來自工研院,雖然僅12個人,卻猶如「精兵部隊」,將搶攻半導體產業先進檢測的灘頭堡。

兆晟奈米擁有國家級度量衡科研能力,開發的設備專門用來檢測半導體前段製程使用溶液中之奈米微粒,手中握有的秘密武器,是技轉自工研院的「新世代溶液奈米粒子監測系統─SuperSizer」,能協助半導體在20奈米以下製程「看」清楚諸多超細微粒,藉此調整製程,改善與避免缺陷問題。解決半導體製程持續微縮面臨的難題之一,幫助產業創新發展。

「新世代溶液奈米粒子監測系統」從實驗室到發展成新創公司的核心技術,整整歷時5年時間,研發團隊的靈魂人物之一是兆晟技術長何信佳。

2012年,當時在工研院任職的何信佳,為改善檢測缺陷,著手研發這項技術。何信佳回憶,最早只是一個構想,當時醞釀三個月,希望能改變20奈米製程以下許多看不見的檢測缺陷,沒想到誤打誤撞,一路用了五年的時間讓技術更精進,期間並獲得2015年全球百大科技研發獎(R&D100 Awards)入圍的肯定。後來,更遇上貴人加持,在工研院前輩牽線下,讓技術產品的發展獲得足夠的經費支持,特別是工研院支持,在創業的最後一哩路幫了不少忙,2017年,何信佳和夥伴正式催生成立兆晟。

兆晟由何信佳率領研發團隊擔任技術長,並延攬在LED業界資歷豐富的吳伯仁擔任總經理,協助開拓市場。並獲得半導體設備大廠致茂電子的青睞參與投資,兆晟資本額從初期2,000萬元,提升至2.2億元,其中致茂出資三分之二,是最大單一股東,並由致茂電子董事長黃欽明兼任兆晟董事長。

兆晟令致茂青睞有加的關鍵因素是,「新世代溶液奈米微粒監控系統」技術發展,將有助半導體產業創新。它的原理是將化學溶液氣霧化,來量測化學溶液中的粒子粒徑及分布。這種新的量測手法,突破現行設備僅能偵測20奈米以上粒子的極限,將可量測粒子的範圍擴為3~1,000奈米,奈米微粒檢測升級,縮短生產品質管控的摸索時間。

兆晟總經理吳伯仁形容,就像百年前羅伯特.虎克(Robert Hooke)發明顯微鏡,讓大家得知細菌的存在,發現細菌後,就能讓醫生進一步從種類來判斷病徵。

兆晟獨家的技術就是這樣概念,提供客戶工具,將能夠突破過去20奈米以下看不見的情況、發現生產過程的癥結,進而對症下藥、改善生產品質。

對於「良率即競爭力」的半導體產業而言,這項突破無異是業者的一大福音。何信佳說,該系統也採用「氣膠粒子量測技術」,將化學溶液氣霧化後進行氣體粒子的量測,除能量測小到3奈米的微粒,這種方法還有一個好處,就是能避免將氣泡誤判為微粒,因為溶液霧化過程中氣泡會破裂,也解決傳統溶液監測會將微奈米氣泡影響混淆信號的問題。

兆晟掌握了檢測半導體製程中20奈米以下,甚至3奈米監控超細微粒技術,結合「電子界醫生」致茂科技在半導體後段製程檢測,延伸至前段檢測應用,產生一加一大於二的效益。

(本文摘自《創業超新星:看見14家未來獨角獸》)

奈米半導體工研院

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