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台積電攜應材衝先進製程 目標加速 AI 規模化

台積電(2330)戰力再升級,與全球半導體設備一哥美商應用材料公司啟動最新合作計畫,攜手開發新世代半導體元件規模化的材料、設備與製程技術,目標加速AI規模化。
業界看好,兩大巨頭強強聯手,超前部署新世代製程節點關鍵設備與材料,助力台積電後續開發先進製程腳步更順遂,搶占更多AI商機。
應材多年來都是台積電重要夥伴,昨(12)日宣布雙方展開最新合作,將在應材位於美國矽谷的全新設備與製程創新暨商業化中心(EPIC)啟動,透過強化創新能量,並加速突破性技術從研發邁向大量製造。
應材提到,與台積電最新合作導入重點領域包括:一、在先進邏輯節點持續精進功率、效能與面積表現的製程技術,以因應AI和高效能運算日益增長的需求;二、新材料與下一世代製造設備,以精準成形日益複雜的 3D 電晶體與互連結構。
三、先進的製程整合方法,在元件邁向垂直堆疊與高度微縮架構的過程中,提升良率、變異控制與可靠性。
業界說明,台積電與應材共同推動材料工程、設備創新與製程整合技術發展,將打破過往「設備、材料商(賣方)開發設備,晶圓廠(客戶端)導入使用」模式,在晶圓廠(客戶端)前期研發時就能參與相關研發,洞燭機先。
應材總裁暨執行長迪克森(Gary Dickerson)表示,應材與台積電深厚合作奠基於互信,以及對推動半導體先進技術創新的共同承諾。
新合作匯聚雙方團隊,進一步強化這項夥伴關係,並加速技術開發,以因應晶片製造藍圖中前所未有的複雜挑戰。
台積電執行副總經理暨共同營運長米玉傑表示,半導體元件架構隨著每一新世代演進,對材料工程和製程整合的要求持續提高。面對AI帶來的全球性挑戰,整個產業需要攜手合作。應材的EPIC中心提供絕佳的協作環境,加速下一世代技術的設備與製程就緒。
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