家碩營收／4月1.15億元月增逾三成 EUV 光罩與高階自動化設備需求升溫

半導體微影製程傳載自動化設備廠家碩（6953）8日公告，2026年4月營收1.15億元，月增32.57%、年增13.75%。公司表示，整體訂單能見度穩步提升，受惠全球前段晶圓廠與DRAM新廠建置需求升溫，帶動EUV光罩充氣及高階光罩自動化相關設備需求成長，今年接單動能強勁，將全力衝刺設備生產與出貨節奏，推升全年營運快速升溫。

家碩指出，在全球半導體供應鏈重組與AI應用持續擴展下，高階製程成為產業成長核心動能。公司長期耕耘高階與EUV光罩儲存充氣、自動化交換等領域，產品涵蓋光罩清洗、光罩交換、光罩檢測與儲存充氣等關鍵製程設備，在黃光製程供應鏈扮演重要角色，並已取得多家國際大廠認證採用，進入全球晶圓製造領導廠商供應鏈。

除既有產品線外，家碩也積極拓展新應用。公司表示，近期成功將光罩清洗與檢測整合設備打入後段先進封裝廠區，自主研發的自動化倉儲設備也正拓展至晶圓廠區；同時，研發團隊持續投入EUV光罩保護膜切割與檢測設備，新產品開發持續推進，可望成為後續營收成長新動能。

面對半導體產業智慧製造趨勢，家碩也與客戶端共同研發自動化Chuck清洗設備，並整合AI辨識檢測功能，將自動化拆裝螺絲組件、清洗與品質檢測流程串聯，規劃今年導入客戶產線應用。公司看好，隨高階製程、EUV光罩與自動化整合需求持續增加，後續營收表現具高度成長潛力。