規模7地震衝擊半導體晶圓廠 石英爐管損耗才是復工關鍵

宜蘭外海27日深夜發生規模7.0地震，業者分析，對半導體產業影響僅次於921大地震及去年0403地震，儘管多數機台能快速復歸，但石英爐管的破損程度與備料匹配度，將成為產線能否全面復原的關鍵。

石英爐管是半導體製造過程中，位於擴散製程機台核心的圓柱形容器，能提供相對純淨的空間，確保矽晶圓在加工過程中不被金屬離子污染。由於石英「硬而脆」的特性，地震時的劇烈晃動容易導致爐管與機台框架發生碰撞而破碎。

提供邏輯與記憶體晶圓代工服務的力積電今天對中央社記者表示，竹科與竹南的8吋、12吋廠產線均受地震影響，主要為石英相關設備與材料，相關損害仍在評估與盤點，受損細節尚未完全明朗。目前影響範圍涵蓋產線設備與關鍵材料，待盤點結果出爐後，才能更精準量化對財務與產能的衝擊。

力積電指出，此次地震的嚴重程度僅次於1999年921大地震和去年0403地震、排在第3。從過往經驗看，規模較小的地震後約2至3天，產線可恢復正常運作，但此次需視石英爐管備料與實際損壞狀況而定。

力積電表示，石英爐管屬關鍵流程環節，修復與更換所需時間較長，其他機台將盡快復歸，但整體復原時程取決於石英爐管材料供應與安裝恢復。雖然去年0403地震後已增加石英材料庫存，仍需評估可用性與匹配度，若有破碎需更換，將延長裝機與校準的時間，進而影響後續晶圓交期。

記憶體廠南亞科表示，內部仍在針對地震災損進行完整詳細的確認，還需要多一些時間，預計29日上班會統一說明。

根據中央氣象署地震報告，27日晚間11時5分發生芮氏規模7.0地震，地震深度72.8公里，震央位於宜蘭縣政府東方32.3公里（位於台灣東部海域），全台多地最大震度4級。