台積電秀亞利桑納州新廠影片 「銀色高速公路」曝光

台積電上傳美國亞利桑納州新廠內部運作影片，讓外界一窺這座北美最先進的晶圓製造基地神秘面紗，當中不僅有艾司摩爾(ASML)造價昂貴的Twinscan NXE極紫外光(EUV)微影設備，在廠區天花板川流不息、運送晶圓的載具「天車」形成的「銀色高速公路」，更是一大吸睛亮點。

台積電在這段長達2分21秒的影片中，為美國新廠大揭密，秀出數百台高科技設備井然有序地生產晶片，鎮廠之寶無疑是艾司摩爾的Twinscan NXE極紫外光微影設備，用於產生輝達Blackwell B300等高階處理器中最複雜的電路。

這段影片讓外界可以見到台積電這座名為Fab 21的一期廠區內部，影片一開始顯示的是一條穿越無塵室的路徑，室內以黃色照明為主，這種燈光能過濾較短波長的光線，防止光阻劑意外曝光。目前Fab 21正在逐步提升採四奈米、五奈米製程的晶片製造能力。

接著畫面出現所謂的「銀色高速公路」，即台積電的自動化物流搬運系統，由懸掛式軌道組成，用來運送裝載12吋晶圓的前開式晶圓傳送盒。畫面中可見數百個晶圓傳送盒同步移動，展現晶圓在晶圓廠內精密且高效率的物流運作，這對於在高產能製造環境下維持流程時序非常重要。

這條「銀色高速公路」即業界俗稱的「天車」，其正式名為「OHT空中走行式無人搬運車(Overhead Hoist Transfer)」，是一種高架搬送系統，它能有效地利用廠房立體空間，在不占用人員走道的前提下，將無塵室內的空間使用率最大化。

台積電2021年時透露，當時廠區內的天車一天行走的距離，就可以繞地球20圈。這個距離大約等於從台灣最北端至最南端走2000次。隨著美日等地新廠投產，台積電天車的數量大幅增加。