陽明交大開發深紫外光超穎透鏡 助力半導體檢測

陽明交大團隊開發深紫外光超穎透鏡，具有輕薄短小、開發自由度高等特性，未來可應用於矽光子元件加工製造、生醫影像檢測、半導體檢測等領域。

陽明交通大學今天發布新聞稿指出，波長比紫外線UVA、UVB還短的深紫外光，在半導體與生醫影像等領域應用廣泛，但控制元件往往造價不菲，導致應用受到侷限。

陽明交大電子研究所團隊開發出一款超穎透鏡，能成功駕馭深紫外光，這款輕薄短小、高效能的深紫外光超穎透鏡，厚度僅380奈米，遠小於人類的頭髮，光學操控卻能達到深紫外光聚焦的極限，這項突破也獲選為國際期刊「Nano Letters（奈米通訊）」封面故事。

研發團隊首次採用「氮化鋁」這種廣泛應用於積體電路中的材料，具有耐高溫、散熱佳、化學穩定性高且不吸收深紫外光等特性，經由實驗證實，透鏡不但能作為深紫外光影像攝影裝置來拍攝奈米結構，也能完成深紫外光超快雷射雕刻，展現深紫外光超穎透鏡應用的無限可能。

投入超穎透鏡研發多年的陽明交大電子研究所助理教授曾銘綸表示，深紫外光相關技術在基礎科學研究及工業場域都有重要應用價值，但相關裝置比常見的近紅外光或可見光的裝置昂貴許多，例如應用於精密深紫外雷射加工的鏡頭，造價就要百萬台幣。

曾銘綸說明，超穎介面是由人造奈米結構組成的光學元件，包含數以萬計精心設計的半導體奈米天線，透過調控幾何參數，可精確操控光的產生與聚焦，超穎透鏡則是針對光學應用特別設計的超穎介面，近年廣泛應用於全彩影像技術、量子光學及生醫檢測等高精度儀器，也有傳言蘋果將在新一代手機引進這種全新的半導體光學技術。

研發團隊期望，未來能藉由超穎介面輕薄短小、功能多樣性且開發自由度高的特性，實現更多關鍵應用，包括矽光子元件加工製造、生醫影像檢測及半導體檢測，同時也相當看好由半導體奈米結構組成的超穎介面，未來量產與商業化的潛力。