晶圓代工廠衝刺減廢 開創循環經濟模式

晶圓代工廠致力邁向「零廢棄」目標，開創循環經濟模式。台積電台中零廢製造中心去年11月商轉，估計每年可減少新台幣15億元環境成本；聯電南科循環經濟資源創生中心將於今年啟用，每年可以創造1億元再生產品綠色經濟。

台積電台中零廢製造中心由台積電攜手協力廠商成信實業、長春石化和立盈環保科技打造而成，秉持「減廢最大量、環境效益最大化、管理風險最小化」原則。

零廢中心內設有氧化矽污泥、異丙醇、氟化鈣污泥及有機溶劑熱回收廠4區，確保廢棄資源不外流，並發展電子級化學品再應用於半導體，開創循環經濟新模式。

氧化矽污泥區是將半導體研磨製程產生的研磨廢水，經混凝處理沉降後產生氧化矽污泥，再針對每種污泥材料特質，以還原工程技術，分別製成矽碇或人造螢石等。

異丙醇區則是將清洗晶圓後的廢異丙醇，藉由熱回收的蒸氣，蒸餾去除水分與不純物，精餾成電子級異丙醇回供半導體業使用。

氟化鈣污泥區是將半導體蝕刻與清洗製程產生的氫氟酸廢水，經氟酸化混程序後產生氟化鈣污泥，再經旋窯乾燥後加入凝結劑攪拌，導入成型機造粒與乾燥後生成人造螢石。

有機溶劑熱回收廠是將去除晶圓表面光阻與有機物後的廢有機溶劑，經由燃燒爐熱裂解後，產生高溫煙道氣經過鍋爐熱回收，產出蒸氣於零廢中心內使用。

台積電台中零廢製造中心每年將為台積電減少約13萬公噸的廢棄物委外處理量，約占中科廠區廢棄物的85%以上，估計每年能減少約15億元的環境成本。

聯電斥資18億元在南科晶圓12A廠區打造的循環經濟資源創生中心將於今年啟用，估計每年可以減少1.5萬公噸的廢棄物，減廢比例約1/3，並可創造約1億元的再生產品綠色經濟。

循環經濟資源創生中心主要處理包括氟化鈣污泥、清洗晶片光阻劑產生的異丙醇（IPA）與晶邊清洗液（EBR）廢液、混合廢溶劑等。

聯電指出，氟化鈣污泥因產出量大，且處理技術成熟，2019年啟動創生中心規劃時，即將氟化鈣污泥列為標的物之一，並與合作廠商立盈評估將其處理設備建置在聯電廠內可行性。

聯電估計，創生中心運轉後，立盈每年可以協助在廠內將5000公噸的氟化鈣污泥資源化成人工螢石再生，並轉售至鋼鐵廠作為煉鋼助熔劑，減少鋼鐵廠使用天然螢石數量，降低對環境的衝擊，同時有助減少聯電廢棄物委外處理量與成本，避免委外不當處理的風險。

為加速循環經濟發展動能，台積電將會在各地設置更多的零廢製造中心，聯電也會將創生中心的循環經濟模式拓展至台灣所有廠區。

世界先進並未設置零廢製造中心或創生中心，不過內部基於資源循環再生與環境永續共融理念，制定永續原物料政策，並報請董事會通過，積極與內、外部利害關係人共同建置永續原物料循環合作網絡，提升第3方認證的原物料比率，實踐最佳化的循環再生原物料使用與效率，並大力推動創新的循環商業模式。

世界先進盤查發現產出的廢棄物中，占比最高的是廢酸、廢溶劑及污泥，這些廢棄物多數經過物理處理及熱處理程序後，作為工業級原料、水泥或路磚等摻配料，以進行再利用；若是無法回收的容器，則交由合格廠商清洗後重新使用。部分含有具價值的金屬，如廢五金、白鐵、鋁等，則交由廠商回收再利用。

晶圓代工廠攜手供應鏈夥伴，積極推動循環經濟發展，力求提高資源利用效率，共同邁向企業成長與環境保護共贏的目標。