台積電推動綠色低碳供應鏈 電子級化學品回收有新進展

台積電（2330）今日更新ESG電子報，其中提到綠色低碳供應鏈，除了推動創新電子級金屬材料循環再生，並在電子級化學品回收有新進展。

台積電在ESG電子報提到，呼應聯合國第12項永續發展目標─責任消費與生產，台積公司透過「電子級化學品回收計畫」積極打造綠色循環再生體系，繼民國112年開發第1個電子級產品環戊酮（Cyclopentanone）後，持續攜手供應商針對四甲基氫氧化銨（Tetramethyl Ammonium Hydroxide, TMAH）廢液進行再利用研究，研發能有效去除廢液雜質的純化處理技術並精進電解及過濾流程，成功將廢液轉製為符合台積公司製程品質標準的電子級TMAH溶液，民國113年10月首先導入晶圓十四B廠，11月起晶圓十二A廠、晶圓十四A廠、晶圓十五A廠亦將逐步導入使用，預計全部上線後年減新液採購量2萬4,000公噸、減碳2,496公噸，深化資源再生價值。

台積公司資材管理副總經理李文如在電子報提到，台積公司攜手供應商推動綠色低碳供應鏈，透過電子級化學品回收計畫，積極實現聯合國SDG「責任消費與生產」目標，促進資源再生及環境永續，同時創造與供應商雙贏的循環經濟。

台積電在ESG電子報提到，TMAH為強鹼性水溶液，是半導體黃光製程用量最大的化學品，因應先進製程快速發展使其需求量持續上升，台積公司與供應商共同投入TMAH廢液回收再生研究以期增加循環使用率。當TMAH廢液進入樹脂塔進行陽離子（TMA+）吸附、並經鹽酸脫附後形成四甲基氯化銨（Tetramethyl Ammonium Chloride, TMAC），台積公司除提升管制回收用純水與鹽酸品質避免不純物汙染外，同時協助供應商於廠區TMAC灌充口新增高效濾網改善環境潔淨度，並延長樹脂塔水洗時間、偵測TMAC中微量金屬／微粒子含量及卡控樹脂塔吸附量，進一步強化洗淨效果；完成純化階段的TMAC經電解成電子級TMAH後，再通過微縮濾芯孔隙測試、強化過濾品質，確保其規格達到回用標準，以利後續生產。

台積電在ESG電子報提到，台積公司致力成為循環經濟的推動者，以「廢棄物產出最小化、資源循環使用最大化、廠商管理最優化」為原則，持續開發不同的電子級化學品回用台積公司，預計民國113年12月完成電子級異丙醇（Isopropyl Alcohol, IPA）開發、民國114年導入廠區使用，並與供應商合作針對稀釋劑（Diluent）廢液評估純化為電子級物料的可能性，持續精進循環再生技術，落實資源永續行動。