陸半導體設備 力拚追上國際

大陸國產半導體刻蝕設備領域的龍頭大廠中微半導體董事長尹志堯表示，儘管大陸在半導體設備領域與國際先進水準有差距，但在未來五到十年內，完全有可能達到國際先進水準。

尹志堯指出，在當前晶片生產線上所有設備當中，大陸國產設備占比僅百分之十五至百分之卅，特別是光刻（微影）系統、離子注入工具和電子束檢測系統方面，是大陸最薄弱的領域。中微公司目前也在布局電子束檢測等領域，以解決晶片光刻環節中的一些薄弱環節。

他透露，中微公司主要零部件的自主可控率已達到百分之九十以上，到今年第三季末可以達到百分之百。

尹志堯表示，中微的零部件依然離不開國外的供應商，且這些零部件未來可能也會受到一些限制，因此大陸國產設備商、零部件商最近兩年也正在解決這些零部件的自主可控問題。

他說，自主可控並不是所有的零部件都必須要自主研發，也不是只能單純依靠國產廠商來供應。依然需要開放合作，團結可以團結的非美系供應商。比如中微公司的設備零部件的自主可控，一部分就是建立在非美系的國外供應商支持的。

他透露，中微的半導體設備雖然即將基本可以實現自主可控，但是在品質和可靠性方面與國外領先水準依然存在一定差距。比如，中微公司的刻蝕機雖可以覆蓋絕大部分的刻蝕應用，但與客戶群處在技術的領先位置的國外廠商相比還差了兩、三代，所以還需要整個產業鏈追趕上去。

根據國際半導體產業協會（ＳＥＭＩ）、日本半導體製造裝置協會（ＳＥＡＪ）統計，二○二三年全球晶片設備（新品）銷售額為一○六二億美元，與上年相比萎縮百分之一點三。中國大陸市場銷售額年增百分之廿九至三六六億美元，連續第四年成為全球最大晶片設備市場。