台積電建工業再生水廠 亞利桑那州廠水回收率拚90%

台積電美國亞利桑那州第1座晶圓廠將於明年初啟用,為達成90%的水回收率目標,台積電規劃於廠區內興建一座工業用再生水廠,預計2027年完成,屆時每天初始用水量將自475萬加侖降至100萬加侖。

台積電亞利桑那州廠明年將量產4奈米晶片,將是美國最先進的半導體製程技術,並對美國推動半導體在地製造極具戰略意義,備受各界矚目。亞利桑那鳳凰城民眾則關心台積電晶圓廠的用水情況及對當地供水可能造成的影響。

台積電亞利桑那州第1座晶圓廠日用水量估計約475萬加侖,約當鳳凰城1萬4250餘戶家庭每天所需的水量,約占2%家戶比率。

台積電旗下TSMC Arizona廠務處長傑克森(GregJackson)日前接受美國媒體訪問說,第1座晶圓廠將依計劃回收約65%的初始用水,再利用於冷卻水塔及空污處理設施等不需要超純水的製程中。

為達成「近零液體排放」目標,台積電規劃興建一座工業用再生水廠,目前進入設計階段,預計2027年完成,水回收率將達到90%。

台積電採用物理、化學和生物處理等各項再生水處理流程技術,淨化民生污水或工業廢水,讓幾乎每一滴水都能於廠內再被利用,降低晶圓廠對市政用水的需求量。每天初始用水量將降至約100萬加侖,約當3000戶家庭每天所需的水量,不到鳳凰城每天供水量的1%。

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