這台EUV究竟有多昂貴?讓台積電嚇到說A16節點不一定用

英特爾奧勒岡廠內,員工正在高數值孔徑極紫外光曝光機(High-NA EUV)前進行作業。路透
英特爾奧勒岡廠內,員工正在高數值孔徑極紫外光曝光機(High-NA EUV)前進行作業。路透

台積電(2330)主管14日透露,台積電A16先進製程節點不一定需要艾司摩爾(ASML)最新的先進晶片製造設備高數值孔徑極紫外光曝光機(High-NA EUV),原因是太貴了。彭博資訊揭露,這一部機器要價超過台幣百億元。

台積電業務開發資深副總經理暨副共同營運長張曉強14日在阿姆斯特丹一場技術研討會上表示:「價格非常高昂。」「我喜歡High-NA EUV的能力,但我不喜歡它的標價。」

彭博報導,ASML的這款新設備能夠用僅僅8奈米寬的線條壓印半導體,相較下,前一代機器的線條寬度則高出1.7倍。

售價方面,這款EUV一部售價達到3.5億歐元(3.8億美元,新台幣約122.6億元),重量等同於兩台空巴A320客機。

ASML是唯一生產用來生產最複雜半導體所需設備的業者,ASML產品的需求是半導體產業景氣的晴雨表。

英特爾已經採購了ASML這款最新的High-NA EUV設備,而且在去年12月底,第一台設備就已運往英特爾奧勒岡廠。

張曉強說,台積電所謂A16先進製程節點(預定2026年稍晚量產)不一定需要使用ASML的High NA EUV設備,而且可以繼續仰賴台積電已有的較舊款EUV設備,「我認為目前,我們現有的EUV能力應該有辦法支援了」。

張曉強表示,使用新的ASML技術,將取決於它在何處最具經濟效益,以及「我們能夠達成的技術平衡」。他不願透露台積電何時將從ASML採購High-NA EUV。

製造先進導體正面臨成本上升、技術更加複雜的局面。英特爾面臨的挑戰尤多,還大力推動進軍晶圓代工市場,想切入台積電稱霸的晶圓代工市場。英特爾周一(13日)宣布晶圓代工服務事業迎接新的總經理,這是該部門自2021年成立以來的第三位負責主管。

張曉強表示,營運晶圓廠的成本,包括營建、工具、電力和原物料「持續上漲」「這是整個產業面臨的集體挑戰。」

ASML 半導體 台積電

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