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台積電熊本廠明年量產 日本官員學者組團來台取經

台積電。圖/聯合報系資料照片
台積電。圖/聯合報系資料照片

台積電日本熊本廠將於2024年底量產,可望帶動熊本成為日本半導體重鎮。因應未來發展,日本官員及學者來台取經,前往台積電中科晶圓15廠及新竹科學園區參訪,了解台積電如何實踐綠色製造及考察科學園區環境。

台積電今天證實日本官員及學者組成的參訪團於8月來台,前往台積電位於中科的晶圓15廠參訪,了解台積電水管理及空氣污染防治等環保相關作為。

台積電熊本廠已於10月開始移入設備,並聘用約800名當地員工,其中多數員工被安排到台灣累積實際經驗。熊本廠規劃採用12奈米、16奈米、22奈米及28奈米製程技術,與台積電晶圓15廠生產6奈米、7奈米、10奈米、22奈米及28奈米相近。

據台積電永續報告書指出,水管理一方面落實日常節水與缺水調適,降低單位產品用水量,另方面拓展多元水資源,發展再生水技術,並落實製程節水與再生水利用,同時還開發防治技術,提升水污染防治處理效能。

台積電透過提升系統產水率、增加廠務廢水回收、降低系統排水損失及廠務系統用水減量節水,民國111年總回收水量達2.157億立方公尺,平均製程用水回收率85.7%。

為落實廢水資源化管理,台積電從源頭管理,建立38種分流系統,依製程廢水成分與濃度分別至不同系統加以處理、回收再利用。台積電熊本廠將規劃超過30種廢水分流系統,用水回收率75%以上。

至於空氣污染防治方面,台積電採用最佳可行技術處理營運產生的污染,並利用雙軌管理搭配備援系統及多種污染物監測儀,執行參數變更管理,確保防治設備正常運作,避免異常事件發生。

日本參訪團也前往竹科管理局參訪,據管理局表示,參訪團主要關心竹科的環境、交通、宿舍、公共設施和污水處理程序等。

台積電 奈米 日本

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