台灣首台原子探針對外公開 專家曝台積電已在用

國研院半導體中心今對外公開「原子針尖斷層影像儀」（APT），是除台積電等業界外，首台由學術研究單位對外公開的設備，可提供高解析度、3D材料分析，突破半導體解析侷限，國科會希望藉由建立領域專家系統與研究服務平台平台，加速高階技術人才培育與半導體物理突破。

國科會指出，台灣在次世代半導體開發持續推進，但隨著積體尺寸微縮化、材料異質化及結構立體化，對於分析技術也帶來挑戰，因此需要透過更先進的設備，才能夠從微觀視角進行分析。

國科會說明，原子針尖斷層影像儀（APT）解析度可達原子級，能夠解析材料或元件微觀區域的3D原子分布，就像醫院使用電腦斷層掃描人體，APT能夠清楚掃描半導體材料結構。

目前APT已經被應用在材料、元件、地質、生物等物質的微觀分析，也成為次世代半導體元件研發的關鍵技術，因此由國研院半導體中心、台灣大學、清華大學及陽明交大共同合作。

國科會表示，藉由公開原子針尖斷層影像儀並建立產學研合作研究平台，將對於台灣的半導體產業發展有所助益，更可擴展至多種前瞻應用材料，包含金屬鋼鐵材料、光電材料、能源材料等方向。

台大材料系教授顏鴻威表示，原子針尖斷層影像儀目前已經在台積電內部投入使用，而國研院半導體中心的設備，則可提供更多學界或業界作為研究使用，作為培育高階半導體人才，肩負台灣次世代半導體發展的關鍵。