日招手台積 再蓋先進製程廠

台積電（2330）以成熟製程為主力的日本熊本新廠正如火如荼興建之際，日本官方再對台積電拋出橄欖枝，爭取台積電於日本再蓋先進製程工廠，並招手極紫外光設備（EUV）獨家供應商艾司摩爾（ASML）在先進製程合作。若成局，將是台積電全球先進製程布局又一重大里程碑。

「2022年台日科技對話－半導體關鍵技術布局與人才育成論壇」昨（6）日在台北登場，負責日本官方半導體相關業務的自民黨半導體戰略推進議員聯盟會長甘利明出席。與會人士透露，甘利明昨天在會場公開表態，日本官方爭取更多半導體繼續在日本投資，希望台積電在日本擴建二廠並導入EUV機台。

由於晶圓製造若導入EUV機台，等於導入先進製程技術，這與台積電目前在日本熊本規劃的新廠主攻成熟製程並不相同。業界解讀，甘利明相關談話，是日本官方再對台積電拋出橄欖枝，爭取台積電於日本再蓋先進製程工廠。

至昨日截稿前，台積電對上述議題沒有進一步評論。艾司摩爾則指出，支持全球半導體產業發展，不針對特定事件或客戶進行評論。

台積電日本熊本廠初期鎖定成熟與特殊製程，今年4月已動工，先前熊本廠因為新增投資者與日本政府支持，該廠資本支出從約70億美元拉升至86億美元（約新台幣2,629億元），產能較原先目標月產4.5萬片提升至5.5萬片12吋晶圓，該廠預定2023年9月完工、2024年4月投產，同年12月起出貨。

為滿足市場需求，台積電先前曾宣布，熊本廠除了22／28奈米製程，將提供12/16奈米鰭式場效電晶體（FinFET）專業積體電路製造服務。台積電總裁魏哲家在最近一次法說會上提到熊本廠、高雄廠28奈米等按照進度推進。

台積電目前在熊本廠製程規畫暫不需要導入EUV設備，而是採用艾司摩爾的深紫外光（DUV）半導體設備，但論壇與會者轉述，甘利明昨日提到，日本官方也積極和荷蘭溝通，提出更多先進製程合作計畫。

日本經濟產業省今年6月拍板補助台積電與夥伴合作投資的JASM熊本廠4,760億日圓（約35億美元）。該廠由台積電、索尼半導體解決方案公司、電裝（Denso）共同出資興建，總投資額約86億美元，日本政府的補助金額占比將因而達到40%左右。

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