台積電：晶圓傳送盒清洗機台 100%回收熱水再利用

台積電（2330）ESG電子報表示，以創新技術打造「熱水回收循環系統」，將機台中未使用的熱水導回熱水器循環利用，成功達成晶圓傳送盒清洗機台未運作時熱水100%回收，今年通過驗證、已於第3季導入晶圓十二B廠，並列為未來新購機種標準設計，以具體行動實踐綠色製造。

台積電表示，面對日益嚴峻的極端氣候，積極創造更多節水省電機會點，去年針對晶圓傳送盒清洗機台研發漸進式開關水閥，藉由自動控制熱水輸出多寡，於機台未運作時減少50%供水量，達到年省38萬公噸純水與1,533萬度電。

台積電表示，為更優化熱水使用效率，智能工程中心、晶圓十二B廠與供應商持續深入分析機台能耗及運轉參數，進一步設計熱水封閉迴路，透過加裝泵浦與冷熱水自動控制切換閥門，在確保水溫穩定的前提下，利用泵浦將機台未運作時的熱水全部導回熱水器繼續使用，達到100%回收效益。

台積電說，熱水回收循環系統已列為公司十二吋晶圓廠區未來新購晶圓傳送盒清洗機台的標準配備，目標至民國119年可年省140萬公噸純水及1億1,000萬度電。

台積電智能工程中心處長林震賓表示，秉持精益求精的精神，台積公司持續發揮創新想法，透過改造機台並開發新功能，持續提升能源使用效率。

台積電強調，秉持機台節能最大化的原則，持續評估改造晶圓傳送盒清洗機台腔體與噴嘴設計以降低乾燥氣體使用量，同時開發腔體未運作期間的節能模式，預計民國112年第1季進行驗證，朝每台晶圓傳送盒清洗機台節能30%的綠色目標前進。