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半導體廠要把餘氫變黃金

蔡政府衝刺氫能發展,「護國神山」台積電積極響應,初期鎖定餘氫再利用。 路透
蔡政府衝刺氫能發展,「護國神山」台積電積極響應,初期鎖定餘氫再利用。 路透

蔡政府衝刺氫能發展,「護國神山」台積電的協力廠商積極響應初期鎖定餘氫再利用,要將高階製程生產過程當中產生的大量餘氫,進行純化再利用技術開發,其中設備協力廠帆宣扮演要角,助攻永續循環發展。

台積電近年積極投入源頭分流管理及資源化系統擴大應用,氫化合物也是焦點之一。根據台積電發布的訊息,已於去年打造「氫氟酸廢液合成冰晶石系統」,並於晶圓15B廠啟用,落實循環經濟作為,同時提升國內循環經濟產業的再生技術。

隨著晶圓代工高階製程必須使用極紫外光(EUV)機台生產,台積電在南科18廠的5奈米製程,首度全採用EUV製程;接下來的3奈米及2奈米製程新廠,也將是EUV微影製程技術的天下,考量EUV運作過程中,產生的大量餘氫如何循環再利用,成為業界關注的焦點。

台積電發展氫能應用可不可行?曾協助台積電發展出浸潤式顯影技術的台積電前研發副總經理、現任清華大學半導體學院院長林本堅認為,以台積電現採用的EUV機台設備數量,每天所需運送的氫氣槽車數量恐多達數十輛,製程使用後的餘氫量足以供應氫氣發電廠使用。

為解決半導體製程餘氫問題,在經濟部能源局支持下,帆宣結合氫能源商亞氫動力,並搭配工研院的技術,組成「氫能發電團隊」,已於台南沙崙綠能科技示範場域,由帆宣負責氫氣回收管路建置、周邊系統及半導體氫回收模擬系統;亞氫動力負責燃料電池發電系統產品商品化與量產;工研院負責燃料電池系統關鍵技術開發,做為「定置型SOFC(固態氧化物燃料電池)」發電示範廠,搶攻台灣低碳氫能應用商機。

另一方面,帆宣與亞氫動力及工研院合作,簽署製程餘氫回收發電合作備忘錄,發揮減碳創電的淨零碳排循還經濟效益。

台積電 晶圓廠 半導體

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