半導體廠要把餘氫變黃金

蔡政府衝刺氫能發展，「護國神山」台積電的協力廠商積極響應初期鎖定餘氫再利用，要將高階製程生產過程當中產生的大量餘氫，進行純化再利用技術開發，其中設備協力廠帆宣扮演要角，助攻永續循環發展。

台積電近年積極投入源頭分流管理及資源化系統擴大應用，氫化合物也是焦點之一。根據台積電發布的訊息，已於去年打造「氫氟酸廢液合成冰晶石系統」，並於晶圓15B廠啟用，落實循環經濟作為，同時提升國內循環經濟產業的再生技術。

隨著晶圓代工高階製程必須使用極紫外光（EUV）機台生產，台積電在南科18廠的5奈米製程，首度全採用EUV製程；接下來的3奈米及2奈米製程新廠，也將是EUV微影製程技術的天下，考量EUV運作過程中，產生的大量餘氫如何循環再利用，成為業界關注的焦點。

台積電發展氫能應用可不可行？曾協助台積電發展出浸潤式顯影技術的台積電前研發副總經理、現任清華大學半導體學院院長林本堅認為，以台積電現採用的EUV機台設備數量，每天所需運送的氫氣槽車數量恐多達數十輛，製程使用後的餘氫量足以供應氫氣發電廠使用。

為解決半導體製程餘氫問題，在經濟部能源局支持下，帆宣結合氫能源商亞氫動力，並搭配工研院的技術，組成「氫能發電團隊」，已於台南沙崙綠能科技示範場域，由帆宣負責氫氣回收管路建置、周邊系統及半導體氫回收模擬系統；亞氫動力負責燃料電池發電系統產品商品化與量產；工研院負責燃料電池系統關鍵技術開發，做為「定置型SOFC（固態氧化物燃料電池）」發電示範廠，搶攻台灣低碳氫能應用商機。

另一方面，帆宣與亞氫動力及工研院合作，簽署製程餘氫回收發電合作備忘錄，發揮減碳創電的淨零碳排循還經濟效益。