半導體建構本土鏈 得跨專利壁壘

耗材良莠攸關生產，台灣自有關鍵耗材供應能量有限，只能仰賴外商，台積電（2330）在2019年的光阻劑汙染事件就是一個例子，還有近期的俄烏戰事牽動氖氣、六氟丁二烯等氣體供應，也凸顯台灣建立自主供應刻不容緩。不過，業界不諱言，在外商專利壁壘前，台廠確實很難突破。

台積電在2019年發生化學原料供應商提供的一批光阻原料中，某特定成分處理方式與過去相異，導致光阻液中產生異質聚合物，造成台積電晶圓14B廠生產的12奈米及16奈米晶圓報廢10萬片，業界譁然。近期俄烏戰事也凸顯全球供應鏈體系的重要，以氖氣為例，烏克蘭掌握全球七成以上市占，俄烏合計更超過九成。

業界分析，氖氣在半導體製程具重要地位，因為當晶片製造商透過微影系統，以紫外光線將電路圖刻在晶片上，仰賴的技術是準分子雷射之中的氟化氬雷射（ArF laser），這種雷射的原材料是氟化氬（ArF），以及作為緩衝氣體的氖氣。

業界認為，從台積電光阻劑汙染事件，到俄烏戰爭引發的特用氣體供貨疑慮，以及3M比利時冷凍劑工廠遭當地政府以環保因素為由勒令無限期停工，都凸顯外商長期壟斷半導體耗材，對台灣半導體業牽一髮以動全身的影響。

業界直言，台灣半導體業能量在全球數一數二，晶圓代工、IC封測都是世界第一，IC設計則是全球第二，面對外商長期壟斷耗材市場，並非不願意建立自主供應鏈，但最大的問題仍是大廠專利壁壘，台廠要跨越，障礙很高。