半導體先進製程大戰 EUV新設備飆天價

英特爾、三星、台積電（2330）等半導體大廠先進製程大戰如火如荼開打，對極紫外光（EUV）設備需求大增，EUV獨家供應商艾司摩爾（ASML）下世代EUV設備再飆上新天價。

據了解，有別於前一代的EUV ，下世代High-NA EUV 設備因為精密度更高、設計零件更多，價格水漲船高，其中，最新款由英特爾率先下訂的機種「EXE:5200 」系統報價逾3.4億美元（近新台幣95億元），再創歷史新高價。

台積電今年大舉拉高資本支出，總金額上看440億美元，年增幅33%起跳，相關支出多數用於先進製程，業界認為，3奈米製程朝2奈米推進，下世代EUV設備扮演關鍵角色，英特爾、三星、台積電都積極投入相關設備預訂採購。

艾司摩爾統計，該公司去年第4季High-NA EUV （TWINSCAN EXE:5000）系統在手訂單已有五台，業界推估每台報價約3億美元，來自英特爾、三星、台積電這三大主要客戶。

艾司摩爾並在2022年初收到最新款High-NA EUV首張訂單，貨主為英特爾。「EXE:5200」為0.55數值孔徑High-NA EUV 微影技術首度商轉，英特爾目標該設備2025年加入量產，業界估計該設備報價超過3.4億美元，較前一代價格增逾13%，為史上最貴EUV機台。