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豪雨特報!今鋒面通過 春節兩波強冷空氣

台積電晶圓傳送盒機台節水24% 明年全面導入國內12吋廠

台積電(2330)今(31)日表示,針對晶圓傳送盒清洗機台開發「節水控制系統」,並於民國110年第2季通過驗證,透過精準控制純水使用量,使機台節水24%。截至今年8月,已成功導入晶圓十二B廠、晶圓十八A廠,預計民國111年全面導入國內的十二吋晶圓廠,目標每年將節省38萬噸純水及1,533萬度電。

台積電表示,民國110年上半年全台水電供應嚴峻,台積公司積極尋找機台的節水省電機會點,發現晶圓傳送盒清洗機台因以直接式開關的水閥進行運轉,透過不間斷輸出熱水以確保水溫穩定,於未運作期間仍需持續供水,為提高用水效率,智能工程中心、晶圓十二B廠與供應商分析清洗機台的能耗及運轉參數,共同研發漸進式開關的水閥。

該系統設計依據機台使用狀態自動控制熱水輸出流量多寡,當機台未運作時,即以漸進方式減少供水,台積電表示,不僅有效省水,亦能同時節電,預估每年可減少碳排放量約7,800公噸,相當於20座大安森林公園一年的二氧化碳吸附量。

台積電表示,「節水控制系統」已列為新建廠區晶圓傳送盒清洗機台的標準設施,既有的國內十二吋晶圓廠區預計於民國111年第2季前完成系統更新,屆時預估每年將節省38萬噸純水及1,533萬度電。為更擴大節能效益,台積公司將進一步開發晶圓傳送盒清洗機台的「熱水回收循環系統」,預計於民國110年第4季進行評估作業,持續朝機台節能最大化的目標努力。

晶圓廠 台積電

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