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台積電節水控制系統 拚年省38萬噸水及1533萬度電

台積電針對晶圓傳送盒清洗機台開發節水控制系統,今年8月成功導入晶圓12B廠、18A廠,民國111年將全面導入國內12吋廠,目標每年節省38萬噸純水及1533萬度電。

台積電表示,今年上半年全台水電供應嚴峻,內部積極尋找機台的節水省電機會點,發現晶圓傳送盒清洗機台因以直接式開關的水閥進行運轉,透過不間斷輸出熱水以確保水溫穩定,於未運作期間仍需持續供水。

為提高用水效率,台積電的智能工程中心、晶圓12B廠與供應商分析清洗機台的能耗及運轉參數,共同研發漸進式開關的水閥,依據機台使用狀態自動控制熱水輸出流量多寡,當機台未運作時,即以漸進方式減少供水,不僅有效省水,亦能同時節電。

台積電指出,節水控制系統已列為新建廠區晶圓傳送盒清洗機台的標準設施,既有的國內12吋晶圓廠區預計於111年第2季前完成系統更新,屆時預估每年將節省38萬噸純水及1533萬度電。

為更擴大節能效益,台積電將進一步開發晶圓傳送盒清洗機台的熱水回收循環系統,預計於110年第4季進行評估作業,持續朝機台節能最大化的目標努力。

隨著技術種類的多樣性及檔案容量與日俱增,為使客戶輕鬆取得產品設計所需的技術文件,台積電推出智慧化技術文件導航系統,並開放雲端下載服務,截至今年8月,有效減少70%客戶技術文件查詢時間,文件下載速度提升5至12倍。

台積電 晶圓廠

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