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獨/少見!台中打AZ引起心肌炎案 連打5天強心針才救回

台積電秦永沛:4奈米零缺陷生產將在2022等同5奈米

台積電(2330)4奈米將比原先規畫提早一季在2021年第3季開始試產。有「台積電的總工程師」稱號的台積電營運組織資深副總經理秦永沛今日在台積電線上技術論壇也釋出台積對4奈米量產的期待目標。

秦永沛提到,台積5奈米先進製程生產的零缺陷(D0)進展順利,在正式投產後表現持續超越7奈米家族,秦永沛指出,目前5奈米的D0已經比0.1還要好,當然EUV的快速大量使用是因素之一,4奈米目前D0表現不錯,預計2022年時可和5奈米一樣好。

秦永沛指出,台積電已在全球EUV機台安裝量占五成,在EUV wafer move占全球65%顯示學習經驗豐富與量產成熟能力,台積自製光罩薄膜2021年產能也將因此較2019年大增20倍因應需求,並持續提升生命週期估計今年內會達到DUV設備水準。

在擴充計畫上,秦永沛說,台積7奈米領先量產後今年7奈米系列產能將是2018年產能四倍,而包含4奈米的5奈米家族也快速擴充,2023年估計產能將是2020年產能的四倍以上成長。

秦永沛指出,由於客戶對5奈米家族強勁需求,台積5奈米家族產能擴充計畫在今年為2020年翻倍以上,2022年較2020年成長3.5倍以上並在2023年達到2020年四倍以上快速提升,展現台積優異製造能力。

台積電 奈米

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