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台積電物聯網智慧節能系統 年創8500萬節能效益

台積電示意圖。路透
台積電示意圖。路透

台積電企業社會責任電子報今日指出,為致力實踐綠色製造,攜手美商應材與附屬設備供應商,針對非生產區的附屬設備,打造「iSystem物聯網智慧節能控制系統」,並已導入晶圓十五B廠80種製程、588台生產機台所屬的2351台真空幫浦、805台現址式尾氣處理系統,達成年度省電1340萬度、減少1萬3800公噸碳排放量,成功創造新台幣8500萬元的節能效益。

台積電表示,半導體晶圓製造過程中會使用不同的製程氣體,一般位於非生產區的附屬設備皆以固定全載方式運轉,為提高能源使用效率,台積電自105年攜手供應商開發及導入「iSystem物聯網智慧節能控制系統」,將其做為生產機台與附屬設備之間的對接橋樑。

這套系統讓生產機台與附屬設備,去依據半導體設備通訊標準讀取生產機台所需參數,獲得製程氣體實際使用狀態,再依照附屬設備運轉穩定性與去除效率驗證所定義的控制參數,即時對附屬設備下達對應的指令,使生產機台使用的製程氣體,同步自動調變運轉參數與能耗以達成節能效果。

為更系統化落實節能行動並確保成效,台積電更於民國109年,將「ISO 50001(Energy Management System, EnMS)能源管理系統」導入iSystem。

為擴大節能效益,台積電近來更尋求與其他半導體設備供應商合作,所有製程及生產機台的附屬設備皆計畫導入智慧節能機制。

台積電表示,目前除晶圓15B廠持續進行應用開發與建置外,晶圓18廠也於民國110年開始導入,並將逐步推展至台灣廠區所有12吋晶圓廠,預計未來每年可省電8200萬度、減少8萬4600公噸碳排放量,創造新台幣5.2億萬元的節能效益,持續朝碳中和與淨零碳排放的永續目標邁進。

台積電 晶圓廠

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