台積電協力廠:全力配合「綠色製造」

台積電(2330)要求供應鏈共同推動「綠色製造」,包括台灣半導體矽晶圓龍頭環球晶、無塵室相關供應商漢唐及帆宣、極紫外光(EUV)顯影機台獨家供應商艾司摩爾(ASML)等來自國內外的台積電協力廠均強調,「全力配合衝刺綠色製造」。

環球晶強調,希望經濟與科技發展應與環保兼顧。除了落實減量(Reduce)、再利用(Reuse)與回收再利用(Recycle)等「3R」之外,更注重第四個R,也就是「Redesign」,使產品製程在設計階段就能預先規畫其具有三個R等循環效果,並持續提升汙染防制的技術能力。

環球晶強調,未來的目標是各廠節電率大於1%,溫室氣體排放量削減大於1%,廢棄物產出減量大於2%。

台積電認證的優良供應商多已超前部署相關綠色機台設計的開發,甚至早在設備開發初期就合作設計完成相關目標,特別是外商設備公司。

艾司摩爾亞太區策略行銷高級總監Boudewijn Sluijk接受訪問也提到,隨著下世代製程持續微縮,系統必須更精準、速度更快,艾司摩爾已和客戶合作著手下世代EUV微影系統(又稱High-NA EUV)開發,同時用電效能也同步優化。

漢唐總經理陳柏辰表示,無塵室的工程建設耗能並不大,漢唐會從工程設計上著手,配合採購符合綠色標章的的產品,進行工程施做。

台積電 環球晶

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