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德國創浦引進雷射 助我半導體升級

台灣創浦總經理鄭勇志(下左起)、機械公會理事長柯拔希、工研院協理吳誠文簽訂3方備忘錄,經濟部長王美花(上右起)、德國經濟辦事處長林百科見證。(photo by 祝潤霖/台灣醒報)
台灣創浦總經理鄭勇志(下左起)、機械公會理事長柯拔希、工研院協理吳誠文簽訂3方備忘錄,經濟部長王美花(上右起)、德國經濟辦事處長林百科見證。(photo by 祝潤霖/台灣醒報)

半導體可結合EUV極紫外光革命製程,以先進雷射技術提升國內機械產業!」工研院2日與德國創浦集團(TRUMPF)攜手打造雷射應用服務中心,與台灣機械工業同業公會3方合作簽備忘錄,見證人經濟部長王美花說,德國高階雷射源將為台灣半導體關鍵技術升級戰力。

高階雷射源助益大

「創浦是艾司摩爾(ASML)EUV設備雷射源的供應夥伴,在雷射源及工具機的產值都是全球前3,台灣獲得了重要盟友!」王美花強調,創浦帶來先進技術,機械公會引進客戶,工研院則有系統整合的能力,三方合作將帶起整體產業技術服務能量,強化台南雷射聚落發展,為台灣雷射設備產業帶來新契機。

王美花指出,在半導體後段封裝製程中,如何盡可能不損壞晶粒,完成晶圓切割,雷射源的好壞將直接影響加工品質。但是高階雷射元設備成本很高,廠商財務負擔大,測試開發需要國外原廠配合,往往因為來往過程繁雜而錯失商機,現在服務中心可讓有需要導入高階雷射元的業者打樣測試,降低門檻。

台灣半導體再升級

「台灣機械業1~7月出口144.8億美元,較去年同期減少10%;可喜的是檢量測設備成長5.1%、電子設備成長2.5%。」機械公會理事長柯拔希指出,雷射技術可應用於量測、檢測、切割、焊接及各式細微加工應用,對先進加工生產及智能工廠都很重要,期許三方合作能減少各公司重複投資研發,推動我國產業升級。

台灣創浦總經理鄭勇志表示,創浦除與ASML合作開發EUV光刻機外,自行研發製造的超快飛秒fs/皮秒ps先進雷射元技術更是在微加工領域獲得國際電子大廠採用,是當前「半導體奈米製程」競賽中不可或缺的設備。創浦在南科與合作夥伴成立技術培訓中心,期盼透過台德技術合作強化台灣的國際商機及競爭力。

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半導體 王美花 工研院

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