艾司摩爾EUV中心南科開幕 台灣半導體群聚效應擴大

台積電(2330)領軍形成的台灣半導體群聚再壯大,全球最大半導體微影設備商荷商艾司摩爾(ASML)全球首座極紫光外光(EUV)技術培訓中心, 訂今日在南科開幕。南科也是台積電5奈米,同時全製程採用EUV設備的生產重鎮,ASML在此設立首座EUV全球技術培訓中心,除就近服務台積電外,也凸顯台灣半導體產業取得領先的重要地位。

台積電在7奈米強化版製程即導入EUV微影設備,並與浸潤機透過多重曝光交互運用,7奈米生產地點位於台中。台積電在5奈米則全數導入EUV微影製程設備,台積電為此在南科18廠打造第一個採EUV微影設備的全製程技術超大型晶圓廠(GigaFab),後續還將建置3奈米產能,將是全球擁有EUV產能的最大半導體廠。

台積電已正式量產5奈米,最大產能採用者就是蘋果即將用於新機的A14處理器,超微、高通等大廠也加入投片;後續導入者還包括聯發科、恩智浦等客戶。

台積電規劃後續還會推出5奈米強化版(N5P)製程,以因應蘋果自家設計用於Mac系列處理器和超微新一代處理器,因相關廠商訂單強勁,已讓台積電5奈米產能滿載至明年,且預估明年還會擴大5奈米及5奈米強化版產能。後續會有台積電18廠第三期P4至P6生產的3奈米製程,也將全數採用EUV設備。

台積電 奈米 半導體

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