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台積電減少熱水浪費有成 11個月省電1400萬度

晶圓代工廠台積電打造晶圓清洗機台熱水循環系統,成功減少80%的熱水浪費,至11月已完成29組熱水設備改良,共省下1400萬度電。

台積電12月企業社會責任電子報今天出爐,台積電指出,供應晶圓清洗機台熱水的熱水設備,以往為避免管線內形成死水、造成雜質汙染,在機台未運作期間,仍不斷輸出熱水,確保管線通暢。

為有效控管熱水設備用電量,台積電營運技術委員會與機台承攬商攜手研究改良方案,利用熱水循環的概念,在原供水管路加裝一道儲熱水槽,連接機台端未經使用過的熱水排放管路,有效回收未經使用過的熱水。

改良的熱水設備,經台積電研發組織驗證後,已優先在晶圓18廠使用,未來將全面推廣至晶圓12廠、晶圓14廠及晶圓15廠等12吋晶圓廠區。

台積電估計,每台改良的熱水設備可以省下約30%的耗能,自今年1月起至11月已節省1400萬度電,預計民國114年以前將可省下1億度電。

台積電在強化用水效率方面也頗有成效,12月獲可持續水管理(AWS)授證,成為首家AWS白金級認證的半導體廠,評鑑結果114分,還創下史上最高分的紀錄。

同時,台積電導入機械式蒸汽再壓縮技術,將硫酸銨廢液轉製為有價值的工業級硫酸銨結晶產品,截至11月已減少原先需委外處理的廢硫酸約9.4萬噸、硫酸銨廢液約1200噸,創造約新台幣1.4億元的效益。

台積電預計於111年達到100%循環再生,開創硫酸銨廢液零委外的減廢里程碑。

台積電表示,與上下游供應商攜手持續精進,驅動產業與供應鏈正向改變,參與零配件清洗廠輔導暨提升計畫的科治新技,6年來已自原先的鐵皮工廠,蛻變為台積電A級績優廠商,也成為國際半導體廠跨海來台指定合作對象。

台積電 晶圓廠

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