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產業脈動/半導體廠高階自動化 迅得、盟立、萬潤營運看俏

2019-08-17 13:46聯合晚報 第一金投顧董事長 陳奕光

第一金投顧董事長陳奕光。 圖/聯合報系資料照片
第一金投顧董事長陳奕光。 圖/聯合報系資料照片
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隨著半導體先進製程的推進,半導體廠對高生產效率及潔淨度的要求越來越高,使自動化物料搬運系統(Automatic Material Handling System,AMHS)在未來2~3年成為熱門題材。

晶圓製造自動化最重要的系統莫過於CIM系統(Computer Integrated Manufacturing,電腦整合製造),這套系統主要由MES與自動化搬運系統(AMHS)所組成。CIM系統就像是人的身體,MES就像大腦,而自動搬運系統(AMHS)就如同人體的手腳,負責執行大腦的命令。當命令下至自動搬運系統,系統就如同夾娃娃機般,將完成某一階段製程的晶圓夾起,自動運至下一站。

過去在8吋晶圓廠時代,MES系統是最重要的,搬運系統通常則是輔助的角色;只要MES不要出問題,即便搬運系統有問題,也可以透過人力來搬貨,工廠還是照樣出貨。

最先進12吋廠則是完全自動化,從MES到自動搬運系統,任一個環節出現問題,整個流程就會馬上停擺。而人機比也從早期8吋1:3,到12吋1:20,現在最先進12吋廠甚至高達1:75,代表著全廠自動化在未來數年內將成為半導體廠資本支出重點。

早期台灣龍頭半導體廠自動化主要由日商大福高科(TYO:6383)提供,但近年來台廠自動化技術越趨成熟,設備品質幾乎與日商差異不大,且具有地緣及成本優勢,如迅得(6438)、盟立(2464)、萬潤(6187)這幾年在半導體自動化皆有所著墨,在未來2~3年趨勢中將可望受惠。

半導體晶圓廠

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