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台積電研發副總林本堅 奪大陸百萬美元科學獎

2018-09-08 21:31聯合報 記者林則宏╱即時報導

據上海《澎湃新聞》報導,大陸2018年「未來科學大獎」8日揭曉,台積電研發副總林本堅因持續擴展奈米級積體電路製造,奪得「數學與計算機科學獎」,獎金100萬美元。

根據「未來科學大獎」官網上訊息,未來科學大獎成立於2016年,主要捐贈者包括百度公司董事長兼首席執行官李彥宏、騰訊公司董事會主席兼首席執行官馬化騰、網易公司董事局主席兼首席執行官丁磊、紅杉資本全球執行合夥人沈南鵬等12位大陸知名的科技及投資界大老。

未來科學大獎目前設置「生命科學」、「物質科學」和「數學與計算機科學」三大獎項,單項獎金100萬美元。對獲獎者國籍不做限制,只要求其工作產生巨大國際影響;具有原創性,長期重要性或經過時間考驗;並主要在大中華地區完成(包含中國大陸地區、香港、澳門、台灣)。

本屆未來科學大獎出現了首位來自台灣的獲獎者。澎湃新聞稱,在現場電話連線時,林本堅表示,「我本來以為,大陸比較不知道這件事,現在我知道,大陸也很清楚我在半導體、電子上做的一點小小的貢獻。」

報導稱,林本堅開拓了浸潤式微影系統方法,持續擴展奈米級集成電路製造,將「摩爾定律」延伸多代。

「未來科學大獎」官網並盛讚林本堅是:「極具成就的科學家和發明家,半導體工業界的英雄,『浸潤式微影之父』」

大獎科學委員會今年的新增委員、台灣新竹大學校長張懋中說,今年是半導體發明第60年,而摩爾定律就是人們發展半導體技術時跟隨的「路線圖」。

具體來講,林本堅發展的是晶片製造中一種名為「光刻」(台灣稱為「微影」)的技術。在光照作用下,人們利用刻蝕的方法,將掩膜版上的圖形進一步縮小轉移到基片上。

張懋中解釋道,「微影技術突然遭到一個沒法向前行的困難,這時候林本堅博士就想到,把水引入光刻機裡做光刻。這種工藝連續帶領半導體進化了幾個世代!每個世代意味著積體電路大小縮為四分之一,而能力變強一倍。」

在林本堅提出用水浸潤,代替原本間隙中的空氣的時候,全世界都繼續堅持乾式工藝。「等於是他一個人站在一艘航空母艦前叫停。他憑什麼叫停?就是在很堅實的物理學基礎上、光學基礎上,加以透徹的解釋,光刻在怎樣的規律下才能繼續前進。這就是他得獎的原因。」

張懋中透露,《孟子》中的「雖萬千人吾往矣」是林本堅最喜歡的一句話。他認為,這帶給我們的一個啟示是,不要隨便走又熱又鬧的路,有時候要走一條比較冷僻的路。

張懋中同時提到,林本堅1942年出生於越南,以僑生的身分到台灣求學。「所以現在在創新導向的經濟裡,要儘量找到背景不同的人。這在植物學裡就是雜交。大家文化不一樣,背景不一樣,思考方式不一樣,『雜交』在一起常常能見到美麗的火花。」

台積電研發副總林本堅奪得大陸2018年「未來科學大獎」的「數學與計算機科學獎」,...
台積電研發副總林本堅奪得大陸2018年「未來科學大獎」的「數學與計算機科學獎」,獎金100萬美元。 網路照片
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台積電研發副總林本堅奪得大陸2018年「未來科學大獎」的「數學與計算機科學獎」,...
台積電研發副總林本堅奪得大陸2018年「未來科學大獎」的「數學與計算機科學獎」,獎金100萬美元。 網路照片
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半導體數學摩爾

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