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半導體相關客製化機台 國研院儀科中心做得到

2018-09-06 14:00聯合報 記者林良齊╱即時報導

國家實驗研究院儀器科技研究中心今年在「SEMICON Taiwan 台灣國際半導體展」展示已通過半導體製程實際驗證的曝光機關鍵零組件,並展現原子層沉積技術的自主研發成果與客製服務績效。儀科中心透露,目前該技術1年可客製化5至6台機台,頗受業界及學界歡迎。

國研院儀科中心深耕「原子層沉積技術」(ALD)10多年,已提供學界與業界多套自製ALD系統,並累積創新系統設計能力。此次展出自行研製開發的「電子顯微鏡試片電子損傷防護鍍膜系統」,專為小尺寸試片與探針製鍍超薄奈米結構,具備高密度表面絕緣保護膜製鍍品質,並可應用於生物試片與原子解析度三維重構試片製鍍。

除客製化ALD機台設備外,儀科中心的「原子層沉積聯合實驗室」服務平台提供前驅物材料合成及篩選、關鍵製程技術開發,協助半導體產業實現先進系統設計與新穎材料測試。

國研院儀科近年來全力投入半導體設備關鍵零組件自製開發,期待透過儀科中心將的技術能量,與半導體設備產業進行結合,帶動上下游關鍵零組件在地化發展,落實半導體設備光學元件自主化製造的目標。

除了參加國際半導體展,國研院儀科中心將於9月20日將舉辦「2018原子層沉積技術發展與產業應用研討會」,9月21日在新竹竹北豐邑喜來登飯店舉辦「半導體先進製程及設備研發聯盟交流會」,藉由交流會整合產、學、研三方能量,連結半導體上下游產業。

國研院儀科中心展出ALD技術。圖/國研院提供
國研院儀科中心展出ALD技術。圖/國研院提供
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半導體喜來登

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