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工研院SuperSizer技轉兆晟 攜手高階測試解決方案

2017-11-24 21:47經濟日報 記者張義宮╱即時報導

工研院24日宣布將獨步全球的「新世代溶液奈米粒子監測系統-SuperSizer」技術移轉給新創公司-兆晟奈米科技,共同與半導體自動檢測大廠致茂電子(2360),攜手打造半導體前段高階製程,以「鷹眼級」的微縮製程檢測服務直接造福半導體產業,強化傲視群雄國際競爭力。

這也是台灣半導體產業再添新利器,由工研院攜手半導體產業挺進高階測試解決方案,可24小時量測的粒子範圍囊括5至1,000奈米,遠優於業界約20奈米的監測水準。

兆晟最大股東的致茂董事長黃欽明說:「將斥資2億元在竹科設廠,結合致茂的前段製程,目標一年內投產,應用還可涵及生醫、製藥產業。」

身兼兆晟董事長的黃欽明表示,新世代溶液奈米粒子監測系統是非常創新的技術,與致茂共同切入半導體前段製程檢測,資本額將從2,000萬元增至2億元。半導體製程已推進至7奈米

、3奈米,而良率更是先進製程的主戰場,有效監管、檢測雜散的奈米粒子、並加以控制,對半導體製程良率提升將有很大的貢獻。

黃欽明說:「半導體製程良率提升1%,獲利將可提升8%,成果驚人。奈米粒子檢測潛力無窮,半導體外,生醫、製藥都是可應用範圍,兆晟做為致茂一份子,其核心符合世界級產品定義的精準、可靠、獨特,以此進軍國際市場,將會是另一個台灣之光。」

經濟部技術處技正林浩鉅指出,台灣半導體產業為全球前三大,對我國GDP直接貢獻度約8%,由半導體延伸出去的廣義電子產業更達到GDP的30%以上。技術處支持SuperSizer建置試量產能力、完成設備安全驗證、進行新創事業籌備,藉由科專計畫補足產業化最後一哩路,也是科技專案產業化成果的典範。

工研院院長劉仲明說,SuperSizer技術曾在2015年入圍全球RD 100 Awards,將這項前瞻技術技轉新創兆晟,期許發揚光大,成為世界級頂尖的公司。

工研院量測中心主任林增耀強調,SuperSizer檢測技術明察秋毫,可連續24小時線上監測研磨液、雙氧水及超純水等化學溶液中粒子的大小與濃度,可量測的粒子範圍囊括5至1,000奈米,若半導體製程可減少20奈米以下的微粒汙染,每提升0.1%良率,預估可增加淨利600萬美元;SuperSizer創新研發技術、產業效益備受國際矚目。

展望未來,兆晟規畫將SuperSizer技術擴大應用,除提供半導體產業化學原料供應商的檢測服務以外,同時加速研發氣膠粒子監測,將檢測服務從半導體跨界至奈米製藥需求、空氣品質和環境品質監測,開創更多元的附加價值。

工研院與兆晟奈米科技進行半導體檢測技術-「SuperSizer」簽約合作,攜手半...
工研院與兆晟奈米科技進行半導體檢測技術-「SuperSizer」簽約合作,攜手半導體產業挺進高階測試解決方案。左起為工研院量測中心主任林增耀、院長劉仲明,及致茂兼兆晟董事長黃欽明。記者張義宮/攝影
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半導體奈米致茂

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