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以核養綠公投成案 年底十公投案綁大選

可視化磊晶製程優化系統 快取最佳化參數

2017-11-21 10:08中央社 台北21日電

工研院表示,針對LED產業調整製程參數時間冗長,開發出「可視化磊晶製程優化系統」,不僅將取得最佳化參數時間,從原本1週縮短為2小時,準確度也由92%提升為95%。

工業技術研究院指出,2013年發光二極體(LED)產業在激烈市場競爭中,殺成一片紅海,成了產業必須面對轉型的關鍵時刻。當時為了挽救LED業者的產品競爭力,機械所和電光所團隊,走訪國內LED相關業者,開發出「可視化磊晶製程優化系統」,大幅優化磊晶製程,進而穩固台灣在全球LED市場的領導地位。

工研院機械所研發副組長王慶鈞表示,當初在拜訪業者時,發現國內LED業者,花很多時間在尋找磊晶製程最佳化參數,無法有效率建立數位化巨量資料庫,讓工研院找到可以發揮所長的地方。

王慶鈞表示,磊晶製程發展至今已50年,影響製程的機台參數因素包括溫度、壓力、流量和轉速,這些因素會交互影響,讓製程調控與機台設計變數太過複雜,跨入門檻極高,全球只掌握在少數國際設備大廠手上。

他說,有關製程調控參數,過去只能仰賴磊晶製程人員的經驗,一組參數驗證往往需要6小時到8小時,而找出整體最佳化製程參數,往往耗費1週以上。

在經濟部技術處支持下,工研院開發出「可視化磊晶製程優化系統」,將製程參數資料,以及模擬分析結果導入巨量資料庫,並在參數驗證過程中,以雷射動態拍攝氣體噴灑頭噴出的氣體,讓研發人員可直接觀察驗證中參數所構成的高溫動態流場,可快速找到最佳化參數。

因此,不需要再像以往,只能由人工透過實驗與數值,模擬分析不斷設定與修正。就像是醫院裡的核磁共振成像(MRI),讓研發人員能觀察到磊晶製程的熱流層和氣流層變化。

磊晶LED工研院

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