親愛的網友:
為確保您享有最佳的瀏覽體驗,建議您提升您的 IE 瀏覽器至最新版本,感謝您的配合。
財經焦點
科技產業
金融要聞
稅務法務
產業綜合
房市情報

新莊5樓公寓傳出火警 男倒臥廁所失去生命跡象

禁黨員參與喜樂島 康寧祥批民進黨:大家還要支持?

半導體微波退火技術 台積採用

2017-11-21 01:16經濟日報 記者李珣瑛/新竹報導

交通大學、工研院、國家奈米元件實驗室(NDL)合作,在經濟部技術處支持下合作開發出「半導體微波退火」技術,將微波加入半導體製程,讓半導體在退火過程時降溫速度更快、成本更低。獲得台積電、晶電及碳纖化工業採用,有效取代傳統紅外光及爐管製程。

半導體退火並非單指降溫,而是從加熱到降溫的迅速升降溫過程。半導體晶圓中因摻入雜質,會讓導致晶圓材料性質產生劇烈變化。透過退火程序,可恢復晶圓晶體的結構、消除缺陷。

退火過程攸關半導體產品良率,以7奈米製程為例,退火過程中磊晶受熱溫度需壓低至攝氏600度以下;製程尺寸愈小,要求的溫度愈低,未來市場趨勢要求降低至攝氏450度以下。

目前「快速熱退火」技術因過程溫度高,易有熱擴散效應。工研院機械與機電系統研究所研究員黃昆平指出,「半導體微波退火」直接以微波對晶圓的矽晶原子加熱,可避免熱擴散效應,達到低溫退火效果,可批次處理多片晶圓,較「快速熱退火」單次僅能處理一片晶圓更有效率。

半導體晶圓

相關新聞

中國前「網路沙皇」 魯煒落馬

2017-11-21 22:50

雷軍宣布小米新人事 米粉最關心的卻是「我的貨呢?」

2017-11-21 19:09

臉書大中華區總裁:東南亞是台灣出口藍海

2017-11-21 15:01

台灣20大品牌 華碩連5年奪冠 85°C進步最多

2017-11-21 14:49

紅色代工鏈 威脅台廠地位

2017-11-21 14:25

瀚荃拿虛擬貨幣電子錢包訂單

2017-11-21 14:23

聯發科前共同營運長加入小米 擔任產業投資部合夥人

2017-11-21 14:07

首座10.5代面板廠明年量產 偏光板這麼配

2017-11-21 14:04

阿里巴巴王堅:AI非最後發明 創新剛開始

2017-11-21 13:32

台灣孵化新創獨角獸企業 這2方面具優勢

2017-11-21 12:53

台灣20大品牌 華碩5連霸85度C進步最多

2017-11-21 12:24

阿里巴巴集團技術主席王堅:聚焦智能時代

2017-11-21 11:27

iPhone傳LTE傳輸升級 這3廠冒出頭

2017-11-21 10:50

可視化磊晶製程優化系統 快取最佳化參數

2017-11-21 10:08

昇陽光電:火災意外恐半年復工 裁員近80人

2017-11-21 10:02

資策會推物業管理AR化 拚三大商機

2017-11-21 10:00

台灣汽車零配件攻模組系統 拓外銷商機

2017-11-21 09:30

商業興觀點/曼谷 新創電商天使之城

2017-11-21 01:55

科學園區土地 業界促設地租天花板

2017-11-21 01:17

產業升級推手 工研院技轉成效佳

2017-11-21 01:16

中科投資熱 半年加碼6,600億

2017-11-21 01:16

中科山坡地開發爭議 可望解套

2017-11-21 01:16

觀察站/台科技廠布局落後 明年排名難進步

2017-11-21 00:57

聯發科 跌出半導體十強

2017-11-21 00:56

勇奪九獎 工研院揚威科技奧斯卡

2017-11-21 01:15

熱門文章

台積電運動會送4.68億獎金 張忠謀沒來原因是這個

2018-10-20 10:40

台積電董座劉德音大方送4.68億獎金 歷年最高記錄

2018-10-20 10:11

不是駭客也非病毒 中信ATM當機原因找到了

2018-10-19 22:10

年利用率沒達標非遠通錯? 遠通免繳4億懲罰性違約金

2018-10-19 19:59

陸控傾銷…百家工具機廠自救

2018-10-20 00:24

台積電運動會 劉德音送出近5億元大紅包

2018-10-20 10:16

華碩手機市占 估Q3突破15%

2018-10-20 00:29

央行:虛擬幣 有六大缺陷

2018-10-20 00:15

台幣貶 下周破31可能性高

2018-10-20 00:16

台積電運動會 劉德音送員工「小禮物」4.68億紅包

2018-10-20 11:23

蘋果多款新品 30日亮相

2018-10-20 00:11

兆豐銀行人事調整 暫不新增海外據點

2018-10-20 00:15

經部:宣示不援引開發中國家待遇 未犧牲產業利益

2018-10-19 20:55

央行示警:虛擬通貨六大缺陷

2018-10-19 23:45

解缺地…南科高雄園區環差過關

2018-10-20 00:11

高房價下的救贖 地上權宅到底值不值?

2018-10-20 09:27

台中銀總部 五年後啟用

2018-10-20 00:29

自駕車商機浮現 大廠搶進

2018-10-20 00:11

美元狂飆...買新興國家貨幣 小心賺了配息、賠了匯率

2018-10-19 17:32

南科高雄園區「第8次變更」 環差過關

2018-10-19 23:58

iXR預購熱 兩色最受歡迎

2018-10-20 00:11

IBM主機系統異常 釀中信銀ATM當機

2018-10-20 00:55

南科高雄園區做好準備 迎台商回流

2018-10-20 00:11

上海商銀董座榮鴻慶 見證兩岸金融史

2018-10-20 00:15

港股獨角獸全部破發 小米、美團跌破發行價逾兩成

2018-10-20 11:27

安聯集團首席經濟學家:台灣、印尼將重獲外資青睞

2018-10-19 22:46

陸控傾銷 工具機業者無奈…全得寫報告

2018-10-20 00:24

茂迪台南廠房擬賣啟碁 底價9.8億元

2018-10-19 19:24

台積電今年營收破兆元 劉德音期許未來業績10%成長

2018-10-20 10:42

AI龍頭海康威視第三季營收、淨利增速下滑

2018-10-20 10:17

東區二樓店王 月租百萬

2018-10-20 00:18

大成鋼聯貸125億元充實中期營運資金

2018-10-19 21:54

安聯:外資撤出亞洲將趨緩

2018-10-20 00:15

台灣改列已開發國家 賴揆:無關開放核食、美豬

2018-10-20 00:04

新纖、遠東新 躲過美反傾銷稅

2018-10-19 23:47

微軟推新品 帶旺台系鏈

2018-10-20 00:29

經濟部攜手業者研發自駕車 台中花博上路

2018-10-20 00:43

永豐金證財管 強打絕對報酬

2018-10-20 00:29

央行總裁楊金龍下周一赴立法院報告 業務報告搶先看

2018-10-19 17:34

中信銀回應當機事件 第一時間促IBM處理

2018-10-20 00:15

商品推薦

贊助廣告

商品推薦

留言


Top