清華成立半導體學院 浸潤式微影之父林本堅掌舵

清華大學與台積電、力積電等10家國內外頂尖高科技業合作的半導體研究學院計畫案，昨獲行政院跨部會審議通過，預計今年8月成立，分為元件、設計、製程、材料共4組招生，最快明年春季班就有學生入學。清大校長賀陳弘說，半導體學院請來以浸潤式微影技術改寫全球半導體發展史的中研院院士林本堅領軍，結合清大跨領域科技優勢，將培育未來半導體領袖人才。

賀陳弘說，與清大半導體學院攜手合作的企業包括台積電、力積電、環球晶圓、欣興電子、聯華電子、世界先進、聯詠科技、南亞科技等8家台灣公司，與東京威力、美光記憶體2家國際公司，企業承諾投入辦學的資金每年超過1億3千萬元，同時國家發展基金也將每年對等投入支持。

清大半導體學院將分為「元件技術、材料與物理」、「積體電路設計與應用」、「先進製程設備與封裝」、「電子材料與化學」4組招生，預計每年招收80名碩士生、20名博士生，規畫提供高額獎學金。

賀陳弘指出，清大半導體學院以雄厚的科技基礎，全盤整合半導體相關的電機資訊、材料、物理、化學、化工、機械、統計領域，培養學生更廣大的視野，並由台灣唯一曾任半導體業主管、又在大學任教多年的中研院院士林本堅規畫人才培育藍圖，林本堅目前是清大半導體學院籌備處主任，未來也將成為首任的半導體學院長。

如何培育半導體領袖人才？林本堅訂出兼具「專才」、「通才」、「活才」的人才培育方針。他說，學生首先選擇一項專業，如材料等深入鑽研，成為該領域的「專才」；要與團隊內的設計等其他領域專才溝通合作，必須具備半導體通識與跨領域對話能力，是為「通才」；半導體技術進步極快，經常出現意想不到的新問題，此時更需要的是能解決未知問題及開創新局的「活才」；具備以上三才，方能成功領導研究及工程部門。

林本堅表示，由於企業投入及法規鬆綁，半導體學院得以用國際薪資水準來聘請大師，還將邀請業界菁英開設衆多0.5或1學分的微學分課程。目前正積極延攬美國國家工程院院士及中央研究院院士等級的教授加入半導體學院師資陣容。

林本堅曾在美國IBM的研究中心，帶領團隊創造出許多領先全球的技術。後在台積電力邀下回台，開始推動對全球半導體產業及台積電先進製程貢獻極大的浸潤式微影技術，帶領團隊從130奈米、做到90奈米、65奈米、40奈米、28奈米、20奈米、16奈米，和10奈米，並開始研發7奈米、和5奈米。他從台積電卸任後，以作育英才為己任，自2016年起擔任清大特聘講座教授。