工研院院士羅唯仁／誠信正直樂觀進取

【撰文／賴宛靖】

從台積公司28奈米到2奈米、從7X24夜鷹計畫到EUV技術導入，台積公司前技術研發暨企業策略發展資深副總經理羅唯仁，持續帶領團隊超越極限，帶領先進製程創新。如今他站在策略制高點，為下一個技術世代布局，為臺灣半導體寫下關鍵一章。

投身半導體領域超過40年的羅唯仁，是推動全球最先進半導體製程的重要推手之一。2004年進入台積公司迄今，他帶領團隊取得超過1,500項的全球專利，自28奈米製程，奠定台積公司在製程技術上的領先優勢，更率業界之先導入極紫外光微影（EUV）技術，是台積公司邁向2奈米高良率製程的幕後功臣之一。

出生於雲林北港的羅唯仁，童年時隨著軍職的父親在臺灣四處調動，建中畢業考上臺大物理系，赴美取得柏克萊加州大學物理學碩士及固態物理與介面化學博士學位，並選擇以半導體為研究方向，當時英特爾（Intel）才成立4年，產業仍處萌芽階段。

為何選擇半導體為一生職志？羅唯仁說，就讀大學時，就對固態物理感興趣，儘管當時還不知道半導體將如何改變世界，但他卻已察覺到，這個技術具有驚人潛力。

從海外歷練到臺灣實踐

1980年代，臺灣掀起半導體創業熱潮，多位海外賢達成立華智、國善（Quasel）、茂矽等公司，為產業注入新動能。學成歸國的羅唯仁也參與其中，擔任國善電子廠長。他回憶，當時公司雖處草創階段，但舉凡開發金、交通銀行、宏碁電腦、大陸工程公司董事長殷之浩等早期投資人，都抱持高度期待，為臺灣半導體投注資源。可惜國善未能成功，但這段經歷讓羅唯仁更認識臺灣的半導體業潛力，尤其對臺灣的半導體人才充滿信心。

之後，羅唯仁進入Intel服務，18年的扎實磨練，讓他在技術發展與管理思維奠定良好基礎，亦在當時主管、之後榮升為英特爾執行副總裁暨行銷與業務事業群總監Mike Splinter帶領下，責任和經歷得以快速成長，協同建立了Intel第一座兼具研發和先進製造的8吋晶圓工廠，成功量產微處理器Intel 486，參與了英特爾的「黃金10年」，累積了寶貴的研發領導與營運的關鍵歷練。

談及加入台積公司的契機，羅唯仁回憶，是2004年他與妻子參加玉山科技協會年會，聆聽台積公司創辦人張忠謀演講後深獲觸動。不久，在王寧國博士居間介紹下，獲時任台積公司總經理蔡力行邀約返臺，與張忠謀、曾繁城、金聯舫等多位台積公司高階主管進一步交流。相談甚歡之餘，決定回臺效力。儘管當時孩子尚在美國就學，夫人依然全力支持舉家返臺，正式加入台積公司。

推動台積公司「先進製程研發中心」有功

2011年，為了拉開領先優勢，張忠謀做出重要決策，將研發預算拉高至公司營收的8%，「這是數百億新臺幣的可觀經費！」羅唯仁與當時兩位擔任資深副總經理的魏哲家與劉德音，推動成立獨立研發單位「先進製程研發中心」（RDPC），打造負責技術開發的專責團隊，跳脫晶圓製造廠在研發與生產常相互牽制的狀態。羅唯仁估算，自2011年起，光是機器設備的採購成本就累計達數十億美元，若加上人力、材料與設備投資，規模更為可觀。

除了投入預算，台積公司在技術發展的判斷力和執行面的果斷，可從28奈米製程的發展看出端倪。當時半導體產業在「高介電常數金屬閘極」（High-K Metal Gate）技術上正處於分歧點，IBM與三星選擇「Gate First」架構，而台積公司與Intel則以數據為根據，並從物理原理判斷可行性，選擇了「Gate Last」路線。羅唯仁強調，Gate First雖看似簡單，但難解的電性問題較不利於快速量產。事後證明，台積公司的選擇是對的。「Gate Last」成為業界首選，至今仍沿用於2奈米製程。而Gate First則因技術挑戰與時程延宕，逐漸淡出主流。

制度獎勵並重　夜鷹計畫奠定領先優勢

台積公司在28奈米奠定優勢後，持續在20奈米、16奈米穩占先機。2011年，羅唯仁獲得創辦人張忠謀親自頒授台積公司內部最高榮譽獎項「TSMC Medal of Honor」，表彰卓越貢獻。

在推進10奈米製程時，台積公司面臨極大的技術與時程壓力，面對市場商機急迫性與競爭者的緊追不捨，研發速度必須再加快。為突破困境，羅唯仁提出「夜鷹計畫」，打造24小時全天候運作的先進製程（Module）研發中心，並與設備商組成全天候應變小組，聯手開發新設備，終於化解關鍵障礙，順利把10奈米導入量產。

RDPC 的7X24運作在10奈米製程中全面實施，透過精密的流程排程與跨班次協作，成功將開發週期縮短至三分之一，大幅提升研發效率，也為下代製程奠定基礎，更是台積公司躍升為全球頂尖半導體企業的重要里程碑。羅唯仁強調，夜鷹計畫的重點在於制度與獎勵並重，制度需明確輪班安排，保障同仁健康，加上激勵與2年輪調1次的機制，打造結合「日鷹」與「夜鷹」的全天候平台，讓研發效率倍增。

EUV技術助台積公司5奈米高奏凱歌

5奈米製程的開發，又到了台積公司抉擇技術路徑的關鍵時刻。羅唯仁指出，台積公司前研發副總林本堅研發的193奈米浸潤式微影技術，讓台積公司一路順風，從55奈米到7奈米共6個製程世代，但面對更高解析度的製程挑戰，台積公司勢必要在極紫外光（EUV）技術與電子束（E-beam）之間做出選擇。

「一切讓數據說話，」羅唯仁與團隊秉持專業與經驗，明快決斷選了EUV，「儘管當時EUV仍屬尚未成熟的昂貴技術，我們仍決定搶先導入，並成為設備供應商艾斯摩爾（ASML）的合作夥伴，」使得5奈米成為台積公司第一個大規模、全面採用EUV技術的世代。羅唯仁說，這項決策讓台積公司率先業界，完成EUV 5奈米技術量產，也在先進製程上拉開與對手的距離。

5奈米順利量產的同時，羅唯仁也擔任高通技術與營運窗口，與高通全球技術長Jim Thompson直接對接。此時，高通在競爭對手5奈米的量產遇到了良率的問題，相較之下突顯了台積公司5奈米製程的優越性，高通最終轉向台積公司並擴大投片，建立了長期合作基礎，也為台積公司在先進製程上高奏凱歌。

來到逼近物理極限的2奈米製程，台積公司採取持續精進「One Team」策略來制勝，將具技術與管理能力的人才配置至第一線的產線上，強調跨部門整合與現場應變能力，展現南北同步、高效的協作實力。羅唯仁舉與台積公司執行副總暨共同營運長米玉傑的緊密協調合作為例，兩人與製造營運長秦永沛建立起深厚的共識，一致認為研發與製造之間必須合作無間，長期耕耘來建立起各盡所能的信任團隊，研發的成敗不僅僅在實驗室開發成功，更在於製造端是否能穩定量產，「技術唯有落地，客戶產品量產成功，才算真正成功。」

2024年，羅唯仁接任台積公司企業策略發展資深副總，視角從製程研發拓展至整體策略布局。由於台積公司每不到30個月便需交出一個新製程，身為領導者，他特別重視選才與育才。

以誠信正直、樂觀態度投入工作

選才時會依循創辦人張忠謀提出的「ICIC」原則：誠信（Integrity）、使命必達的投入（Commitment）、創新（Innovation）與客戶導向（Customer Orientation），而他的理想人才還要具備3項特質：首先是「No Fear, Can Do」精神，善於拆解難題、整合資源；再者，具敏銳洞察力，比常人能早發現並敢於揭露隱微深藏的重要問題；最後則是兼具技術深度、犀利度與執行領導力，能帶領團隊克服艱難、實現成果。

羅唯仁鼓勵年輕人，面對快速變動的世界，要秉持誠信正直、樂觀進取的態度，選擇一項願意投入的工作，專心努力、持之以恆，善用時間的複利效應，不停的累積自己的智慧與增強專業能力，來創造出美好的前途。

羅唯仁回顧在台積21年的生涯，「我們這群平凡的人，在創辦人張忠謀所建立的睿智創新的平台上，受到了他的感召，秉持團結合作和實事求是的信念，專心從事研發和高階製造，持之以恆的做出了一些不平凡的成就。」