「別讓美國政府不高興」 台積電最大設備商暫緩出貨給中國

圖檔來源:ASML官網
圖檔來源:ASML官網

【撰文 劉煥彥】

荷蘭半導體設備大廠艾司摩爾(ASML)獨門生產的極紫外光(EUV)微影設備,堪稱是台積電7奈米製程量產的夢幻武器,也是台積電、南韓三星電子及美國英特爾進攻先進製程的重要設備。

如今傳出中國最大晶圓代工業者中芯國際去年向ASML下單訂購的相同設備,被ASML暫緩出貨,就是顧慮美國可能有意見。

對此ASML總公司6日僅表示,該公司的EUV光刻機是戰略物資,需要有荷蘭政府的出口許可,而之前的出口許可已經到期,ASML正等待政府核發新的許可。

這項消息顯示,美中貿易戰對於全球半導體產業的政治面影響,已經從晶圓代工領域延伸至半導體設備業,未來是否繼續延燒仍未可知。

日本經濟新聞6日引述三位知情人士的說法報導,2018年上半年美國政府制裁中國電信設備商中興通訊後,中芯國際去年4月向ASML下單訂購一台EUV光刻機,原定今年底交貨、2020年中以前安裝完成。

一位知情人士說:「ASML決定暫緩EUV設備出貨,因為不希望為了把先進的晶片設備運到中國,而讓美國政府不高興;但該公司也不想讓中國及中國客戶(為了延緩出貨)不高興,因為(中國)是成長最快的市場。」

▲荷蘭半導體設備大廠ASML的EUV光刻機NXE 3400系列,是台積電7奈米製程量產的夢幻武器。(圖片來源:ASML官網)
▲荷蘭半導體設備大廠ASML的EUV光刻機NXE 3400系列,是台積電7奈米製程量產的夢幻武器。(圖片來源:ASML官網)

根據路透報導,ASML總公司發言人Monique Mols回應,該公司正在等政府許可下來,「ASML只是遵循法規,法規說要有出口許可才能將EUV交貨,我們已經去申請許可」。

Monique Mols並未直接回應日經報導,也沒有提到暫緩出貨EUV光刻機的客戶名稱。

ASML的EUV設備一點都不便宜,估計一台要價約1億歐元(約合34億元台幣),而且由於技術高度複雜,ASML每年只能生產30台,產能早就被上述晶圓大廠訂滿。

▲荷蘭半導體設備大廠ASML的EUV光刻機NXE 3400系列,每台造價超過30億元台幣,是台積電7奈米製程量產的夢幻武器。(圖片來源:ASML官網)
▲荷蘭半導體設備大廠ASML的EUV光刻機NXE 3400系列,每台造價超過30億元台幣,是台積電7奈米製程量產的夢幻武器。(圖片來源:ASML官網)

各家晶圓代工廠都在搶訂EUV微影設備,到底這種技術有多神奇?

2017年9月中芯國際共同執行長趙海軍在北京微電子國際研討會中演講時指出,EUV將在7奈米製程形成主流,EUV變化非常大,很多環節都要重新開始,變化太快。

他說:「28奈米工藝如果到7奈米,性能可以增長68%,如此巨大的增長,很多foundry(晶圓廠)一定會去做,做製造的時間非常重要,foundry一定要在接到訂單60天之內從把硅片(晶片)交出去,後續還要做封裝測試這些東西,大概需要一個月,這樣正好一個季度。」

「EUV最大的優點是可以20多天出廠,而用其他工藝要80多天,做大生產必須要用到EUV。」

▲台積電今年資本支出大增,荷蘭半導體設備大廠ASML堪稱是最大贏家。(圖片來源:ASML官網)
▲台積電今年資本支出大增,荷蘭半導體設備大廠ASML堪稱是最大贏家。(圖片來源:ASML官網)

日經報導提到,目前ASML的難處不僅在政治面,也在於市場面。2018年ASML營收達83億歐元,其中16%來自英特爾及美光等美國企業,而且ASML的半導體設備所需零組件,也有20%是在該公司的美國康乃迪克州工廠生產。

另一方面,去年ASML營收有19%來自中國市場,中國也是該公司成長最快的市場。

資策會產業情報研究所副所長洪春暉接受日經訪問時說:「所有的晶片相關業者,不只是美國的,還有非美國的,對於出貨給中國等國家愈來愈小心,畢竟美國依然控制了許多智慧財產、材料及基礎科學。」

▲台積電下半年已將EUV微影設備導入7奈米強效版製程,使台積得以持續推動晶片微縮。(圖片來源:台積電官網)
▲台積電下半年已將EUV微影設備導入7奈米強效版製程,使台積得以持續推動晶片微縮。(圖片來源:台積電官網)

台積電在10月宣布,領先業界導入EUV微影技術的7奈米強效版(N7+)製程已協助客戶產品大量進入市場,且6奈米製程(N6)預定明年第一季試產、明年底量產,進一步鞏固台積電在7奈米以下先進製程的全球獨霸地位,

當時台積電在聲明中指出,EUV微影技術使台積能持續推動晶片微縮,因為EUV的較短波長能夠更完美地解析先進製程的設計。台積電EUV設備已達成熟生產的實力,EUV設備機台亦達大量生產的目標,在日常運作的輸出功率都大於250瓦。

荷蘭ASML則是全球晶片微影技術的領導廠商,服務全球主要晶圓廠和晶片製造廠,2016年以1000億元新台幣收購當時台股股后漢民微測科技,是該年度台灣第二大外商投資案。

目前ASML在桃園、新竹、台中、台南設有客戶服務據點,並在林口和台南設有製造廠,生產ASML的光學和電子束檢測設備。

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