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他跟張忠謀學溝通 扭轉半導體規則

2018-04-09 10:38商業周刊

中研院院士、國立清華大學特聘研究講座教授林本堅(攝影者.郭涵羚)
中研院院士、國立清華大學特聘研究講座教授林本堅(攝影者.郭涵羚)
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【文●吳中傑】

他改變了全球半導體產業技術路徑,讓老大哥英特爾(Intel)及設備商艾斯摩爾(ASML)、尼康(Nikon)等業內巨頭,捨棄耗費逾10億美元和數年的研究心力,跟著他與台積電一起轉彎。不但全球半導體製程得以往下推進6到7個世代,約14年時光,台積電也因此躋身一線大廠、主導業界規格。

他是中研院院士林本堅,台積電前研發副總經理。台積電董事長張忠謀曾稱,假如沒有林本堅及其團隊,「台積電的微影(半導體關鍵製程之一)不會有今天這規模。」

退休後在清華大學擔任特聘研究講座教授的林本堅,近日出版他第一本半自傳式著作,並與我們一起重溫當年他是如何扭轉乾坤。

林本堅在越南出生,至青春期才來台灣求學,說話語調細軟,過去部屬暱稱他「Burn(其英文名)爺爺」。他待人和善,但對所相信的事物和理念,卻不輕言退讓。

他的提案,同業主管批攪局

「雖千萬人,吾往矣!」林本堅如此形容他2002到04年那改寫歷史的一役。

當時狀況是這樣的:隨著半導體製程往下演進,關鍵製程之一的微影,也得持續縮短光束波長。一直以來,業界習慣以空氣為媒介,是「乾式」的微影,但此技術卻已「撞牆」,在157奈米波長卡關。而當時任職台積電的林本堅卻跳脫框架,退回157奈米波長的上一世代,改用水做為介質,發展出「浸潤式微影」技術,讓光束波長一舉縮短至134奈米,突破瓶頸。

這樣的破框思維,起初卻是孤獨,甚至遭受敵意。

因其他業者已投入共計逾十億美元研發經費在乾式顯影上,接近當時台積電一整年的資本支出。林本堅的理論若被採用,等於宣告其他人前功盡棄。台積電前共同營運長蔣尚義為林本堅寫序:「(當年)確實有大公司的高層主管表達嚴重關切,希望我能管管他(林本堅),不要攪局。」

他做事前,會推演到窮盡

對內,林本堅要讓蔣尚義和張忠謀等主管埋單,對外,則要說服業界拋棄原有投入。

他的秘訣,是「徹底」2字,徹底的思考,並徹底執行。「像下棋一樣,要先想好後面好幾步,」林本堅說,做事前,推演至窮盡,是他一直以來的習慣,「把所有可能一直想下去,(直到)想不到可能。」

一位曾和林本堅走過那一役的台積電主管記得,起初反對方常在國際研討會上與台積電針鋒相對,質疑以水做為介質易產生污染,且水中的氣泡會影響曝光等等。對外界疑慮有備而來的林本堅,決定更徹底解決,便帶著團隊在半年內完成三篇論文,投稿到國際期刊,連還未被提出的質疑也一併設想、回應。「原本一個美國大廠的代表說他們絕不用這技術,結果一個(半導體製程)世代後,他們也用了。」

除了論理,林本堅的溝通也做得徹底,當時他跑遍美國、日本、荷蘭與德國等地,一一拜會業界,促使艾斯摩爾與尼康等廠商轉向。他說,溝通,是他從張忠謀身上學到重要的一課。

從他2000年加入台積電以來,張忠謀每一季便固定與三級主管們分兩梯次共進午餐,與副總經理們則每月聚會。會中張忠謀與主管們可從公司發展聊到國際政經情勢,包括台積電最核心的「誠信正直」、「承諾」等價值,也在其中凝聚,「董事長會鼓勵大家問他問題,有時候大家問得好,他就很高興的回答,什麼都不吃了。」

「想得徹底、做得徹底,是他的習慣,」和林本堅牽手50年的妻子黃修慧舉例,他擔任教會詩班指揮,許多成員不擅長讀五線譜,遇到重複段落的符號,常忘記回頭重唱,一般指揮會不斷糾正提醒,但林本堅則徹底解決問題,重新謄打歌譜,把重複符號後的譜直接寫出來,讓所有人能順利唱下去。

他徹底,但遇問題更懂繞道

不過,林本堅的「徹底」帶著巧勁,他認為遇到困難,有時不妨先停下、休息,甚至繞道,再前進,會比只是遵循前人道路,一味的「愚公移山」好。當初他提出浸潤式微影,就是繞出業界的慣常道路,迸出靈光。

「他常說,想像可以無窮,只是實際運用時,要謹慎,他從來不抑制工程師的任何想法,」前述台積電主管表示,林本堅相當鼓勵部屬想像,如此才可能創新。

兩年前開始在大學任教後,林本堅也如此期許學生,不要成為填鴨教育「惡補的奴隸」。他鼓勵學生們合作,規定有些作業必須組隊完成,就像他過去扭轉半導體規則,雖由他一人提出想法,後續卻需要張忠謀與蔣尚義等人的支持,並在外找到盟友,才能實踐劃時代的技術。

「我希望能盡量把一些有價值的事傳承給下一代,」和寫書的初衷一樣,今年76歲的林本堅,要持續以學校做為平台,傳授思考與實踐之道。

※精彩全文,詳見《商業周刊》1586期。

※本文由商業周刊授權刊載,未經同意禁止轉載。

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