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Toto生產可用於半導體製造設備的靜電吸盤,成為帶動該公司營收成長的推手。此為示意圖,並非Toto馬桶。美聯社
Toto生產可用於半導體製造設備的靜電吸盤,成為帶動該公司營收成長的推手。此為示意圖,並非Toto馬桶。美聯社

日本衛浴品牌Toto向來是民眾採購免治馬桶首選,但這家衛浴大廠其實也有半導體製造設備的零件事業,且該部門正在擴大版圖,並成為催動該公司成長的新引擎。

Toto陶瓷部門的營業利益,自2022年以來就持續飆升,關鍵在於其生產、可用於半導體製造設備的靜電吸盤。該部門營業利益在本會計年度(2024年4月到2025年3月)可望達到200億日圓。而且該部門利潤豐厚,營益率超過40%,遠高於Toto整體的7%左右。

靜電吸盤可以在微影並用蝕刻方式形成電路的階段中,固定矽晶圓,原理是用靜電,而非物理的方式,以免刮到矽晶圓。由於矽晶圓的溫度必須均衡地控制,這需要相當高的技術。

Toto開發這項技術,可溯及40年多年前。然而,這個事業多年來卻不賺錢,是近幾年來隨著半導體市場蓬勃發展才漸入佳境。

隨著晶片製造商開始以「堆疊」的方式來提升電晶體密度,Toto的靜電吸盤因而備受矚目,這是因為半導體製程變得日益精密,耐用性就變得日益重要。Toto高層說:「加入氧化鋁等硬化材料的高功能陶瓷,又硬又抗裂,Toto在製作衛浴陶瓷的時候,就擁有一種耐用的原料混合方式,如今也將其用於半導體領域。」

隨著訂單增加,Toto在2020年投資約118億日圓來增產。過去四年,又增聘20%的人手。如今Toto也規劃今年建造額外的新工廠。

此外,Toto計劃跨足「後段製程」,也就是切割和封裝晶片。

免治馬桶 半導體 靜電

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