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美要掐住中國晶片業致命點 施壓ASML停賣DUV機台給大陸

荷蘭晶片設備製造商艾司摩爾(ASML)。路透
荷蘭晶片設備製造商艾司摩爾(ASML)。路透

知情人士透露,美國正向荷蘭施壓,要求禁止晶片設備製造商艾司摩爾(ASML)向中國大陸出售生產全球大量晶片所需的主流技術。此舉反映美國擴大抑制大陸崛起的行動。

華盛頓當局提議的禁售措施,將使現有向中國大陸出售最先進設備的限制範圍進一步擴大,試圖挫敗大陸成為全球晶片生產大國的計畫。如果荷蘭政府同意,目前禁止銷往中國大陸的晶片製造設備範圍和類別將大幅拓寬,可能嚴重打擊中芯國際和華虹半導體等大陸晶片製造業者。

知情人士說,美國官員正在游說荷蘭當局禁止ASML出售成熟製程所需的深紫外光(DUV)微影機台。這類設備所用於的晶片製程技術比先進技術落後,但仍是製造汽車、手機、電腦乃至機器人所需的成熟製程晶片最常用的設備。

消息拖累ASML的美國存託憑證(ADR)價格5日收盤下跌3.8%至每股432.4美元,盤中一度重挫超過8%,為2020年3月來最大盤中跌幅。

知情人士說,美國聚焦推動荷蘭禁止出售最先進類型的DUV技術「浸潤式微影設備」賣給大陸。此外,美國官員也試圖施壓日本停止銷售同樣的技術給大陸晶片製造業者。日本尼康(Nikon)公司在這個領域與ASML競爭。

浸潤式微影技術也稱氟化氬浸潤(簡稱 ArFi)。根據大陸方正證券的資料,ASML在2021年銷售81台浸潤式微影設備,相較於Nikon的4台,因此ASML的市占高達95%。

知情人士說,美國商務部副部長格雷夫斯(Don Graves)5月底到6月初出訪荷蘭和比利時討論供應鏈問題時,提出了這一要求。當時他還參訪ASML位於荷蘭費爾德霍溫的總部,並會見ASML執行長溫彼得(Peter Wennink)。

知情人士說,荷蘭政府尚未同意額外限制ASML向中國大陸晶片製造商出口設備,因為此舉可能傷害荷蘭與大陸的貿易關係。目前,ASML已經無法把最先進、每台售價約1.6億歐元(1.64億美元)的極紫外光(EUV)微影設備銷往中國大陸,原因是無法從荷蘭政府取得出口許可。

美國商務部和荷蘭外交部不予置評。Nikon發言人則表示,對此議題無可奉告。

ASML發言人說:「討論並不是新的。尚未作出任何決定,我們不希望對傳言加以臆測或評論。」

荷蘭首相呂特6月時表示他反對重新考量與大陸的貿易關係,呼籲歐盟發展自身對北京的政策。中國大陸是荷蘭第三大貿易夥伴,僅次於德國與比利時。

溫彼得今年稍早表示,ASML反對禁止把DUV微影設備賣給大陸,主張這已是個成熟技術。ASML對中國大陸晶片廠(包含國內外企業所營運晶片廠)的銷售,占去年總營收的14.7%。

台經院分析師Johnson Wang表示:「對於半導體製造來說,微影設備是中國大陸最難取得替代的設備。若無法取得國外的DUV微影設備,中國大陸晶片產業的進展可能中止。」

荷蘭 美國

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