台灣首座8吋晶圓廠空氣比開刀房乾淨1千倍 史無前例5億元經費「還」政府

次微米計畫執行過程，困難重重，誰來做？在哪裡做？因為電子所的人才都散了，必須重新建立團隊。史欽泰順利找到在美國貝爾實驗室擔任計畫主持人的盧志遠，及在IBM的盧超群（垂直槽溝式DRAM架構發明人），同行回國的還有丁達剛、趙瑚等頂尖DRAM設計專家，可以說是當年的一時之選。

電子所由盧志遠（時任副所長）領軍，專攻製程，DRAM設計由盧超群成立鈺創科技，以計畫合作的方式進行技術開發。他說：次微米計畫以盧志遠為首，盧超群則想自己創業，不想加入工研院，後來，我們就談工研院外包給他們做的條件。他找了三個人一起回來創業。

離去前，我丟下一句話：你弟弟回去，我就回去。」幾個月後，盧超群來找丁達剛，告訴他決定回台灣，再一次邀請回國。這一次，丁達剛毅然放下貝爾實驗室的工作，帶著剛出生未久的女兒，回到台灣，加入鈺創。

從一九八八年開始，經過十多個月評估和研擬，一九九○年七月，次微米計畫正式啟動，將開發DRAM設計與製程技術，並興建台灣第一座八吋晶圓廠；這個計畫創下許多傲人的成績：零微震結構體，空氣比開刀房乾淨一千倍！

這個實現次微米夢想的基地經歷十五個月建廠完工啟用；歷時卅天即製造成功的國內第一片256KSRAM（static random access memory，靜態隨機存取記憶體）八吋晶圓，良率高達七○％，次批晶圓良率達八○％；三個月內建立○．五微米的16MBDRAM及4MBSRAM八吋晶圓；四年內開發完成二．五世代次微米製程技術，緊追世界水準。

次微米製程技術發展計畫成功締造台灣自主研發八吋晶圓技術的關鍵里程碑，培養出三百多位本土DRAM研發人才，團隊竭盡心力克服諸多挑戰，最後以四年半時間提早完成計畫，成功為台灣開發出第一片八吋晶圓、○．五微米DRAM製程自主技術，經費不僅沒有透支，還史無前例將五億元經費「還」給政府。

這群強將，讓台灣從零開始，躋身具八吋晶圓廠能力的五大積體電路國家行列！

這項技術成果的出路，由經濟部透過公開招標進行技術轉移，成立衍生公司，最終由台積電率領十三家公司集資、以六十七億元（稍高於政府次微米科專計畫的總投資）得標；於一九九四年十二月廿三日，次微米計畫衍生出資本額一百四十億元的「世界先進積體電路公司」。

次微米計畫的成功，也間接帶動業界投資，南亞、力晶、茂德等台灣DRAM製造廠紛紛創立。

（本文出自《十里天下：史欽泰和他的開創時代》作者：史欽泰,吳淑敏)